【課題】クリーンロボットとしての適性を確保しつつフットプーリントの縮小を図ることが可能な基板搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】先端アーム３の先端部３７が水平面上を直線移動（Y軸移動）し得る連動式アームユニット３００と、第２電動モータ３６を駆動源とする駆動力を受け回転中心５１aを回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式アーム５１と、第３電動モータ、第４電動モータ５６、５７を駆動源とし基部６９、７３を回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式ハンド６８、７２とを備える。先端アーム３の先端部３７の水平直線（Y軸）上の位置、単独回転式アーム５１の水平回転位置、及び単独回転式ハンド６８、７２の水平回転位置をそれぞれ制御し、単独回転式ハンド６８、７２を、先端アーム３の先端部３７の直線移動方向（Y軸移動方向）に対して直交する水平方向（X軸方向）へ前進及び後退させる。 （もっと読む）

【課題】真空室内に配置された加工ステージのレイアウトをコンパクトに変更できるように真空用ロボットを構成する。
【解決手段】真空ロボット１０は、機台１１内に４本の駆動軸を同心上に配置する。第１の駆動軸２１は、第１のアーム１２を機台１１に対して旋回可能に連結し、第２の駆動軸２２は、第２のアーム１３を第１のアーム１２に対して旋回可能に連結し、第３の駆動軸２３は、第１のハンド１４を第２のアーム１３に対して旋回可能に連結し、第４の駆動軸２４は、第２のハンド１５を第２のアームに対して旋回可能に連結する。第１の駆動軸２１、第２の駆動軸２２、第３の駆動軸２３、第４の駆動軸２４を、それぞれ独立した駆動源で駆動するとともに、それぞれ磁性流体シール５１を嵌着する。 （もっと読む）