【課題】被加熱物から揮散する水分や油分などが付着せず、炭化珪素発熱体を被加熱物と接触させて加熱する場合でもスムースに接触させることができ、炭化珪素発熱体および被加熱物を傷つけることなく、被加熱物を均一に加熱できる炭化珪素発熱体およびその製造方法の提供。
【解決手段】少なくとも表面が高分子化合物３により被覆あるいはコーテイングされていることを特徴とする炭化珪素発熱体１により課題を解決できる。
内部ボイド５の少なくとも一部が前記表面に連通しているボイド構造を有する炭化珪素発熱体１の前記表面が高分子化合物により被覆あるいはコーテイングされるとともに、被覆あるいはコーテイングされた前記高分子化合物の少なくとも一部が前記内部ボイド５内に侵入していることが好ましい。 （もっと読む）