【課題】制約のないフェイスアレイシュータ型の液体噴射装置を提供する。
【解決手段】他の技術に関しては構造上困難であった問題を克服するための装置を形成するための基材として、材料層を使用する。ノズルを組み入れた表面層の励起を利用する。これらのノズルは、アドレス可能に１つの表面層上に配置されて、液体噴射アレイを形成しており、様々な広範囲の液体をもって、高周波数で作動させる。 （もっと読む）

基板上に取り付けられた圧電又は電歪トランスジューサを有する超音波駆動体であって上記トランスジューサの動作が当該駆動体を屈曲させるように構成された超音波駆動体と、上記トランスジューサ若しくは基板上に配設されるか又は上記トランスジューサ若しくは基板と一体に形成される第１膜体と、前記駆動体と略平行に取り付けられると共に該駆動体から所与の距離隔てられた第２膜体とを有し、これら膜体のうちの１つは有孔であり、これにより前記トランスジューサの駆動に際しての前記駆動体の超音波屈曲が、前記有孔膜体を介してガス流を生じさせる。
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