【課題】感度や耐久性が改善されたダイヤモンド放射線検出器の製造方法を提供する。
【解決手段】ホウ素をドープしたダイヤモンドからなる基体１０と、該基体１０の表面に、高純度の単結晶ダイヤモンドからなる外被層１２を成長させ、該外被層１２の上に櫛形電極アレイ１６を形成することでダイアモンド放射線検出器を製造する。このとき、該外被層１２の粒径を該基体１０と同等の粒径とすることで、より優れた性能が得られ、ダイヤモンド放射線検出器の耐久性を向上させる。 （もっと読む）