【課題】基本波かつ逆相の屈曲モードで振動し、等価直列抵抗が小さく、品質係数Ｑ値が高く、しかも容量比の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子を備えた水晶ユニットと水晶発振器の製造方法を提供する。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動子１６０の音叉腕１４３、１４４の上面と下面に溝１４６〜１４９が形成され、溝の側面に電極１５１、１５２及び１５５、１５６を形成し、その側面に対抗する音叉腕の側面に極性の異なる電極１５０，１５３及び１５４、１５７が配置され、溝の長さと前記音叉型屈曲水晶振動子の全長との比が０．２〜０．７８の範囲内にあり、かつ、溝の厚みと溝を備えた音叉腕の厚みとの比が０．７９より小さく、音叉型屈曲水晶振動子はケース１６５の固定部１５９に導電性接着剤１６１により固定され、蓋１６３を接合し、発振周波数が真空中で調整され、その調整後に、ケースに設けられた貫通穴１６７を金属１６６で真空中にて封止される。 （もっと読む）

【課題】音叉型屈曲水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶ウエハ４０の上面と下面に金属膜４１を形成し、金属膜の上にレジスト４２を塗布し、エッチングにより音叉腕４３，４４と音叉基部４５とを具えた音叉形状、及び溝４６，４７，４８，４９を形成する。音叉形状の面の上に金属膜４１とレジスト４２を更に塗し、一方の音叉腕４３の側面に配置された電極５０，５３と他方の音叉腕４４の溝４８，４９に配置された電極５５，５６とが同極となるように接続形成、同様に音叉腕４３の溝に配置された電極４６，４７と音叉腕４４の側面に配置された電極５４，５７が同極となるように接続形成する。溝の側面とその側面に対抗する音叉腕の側面には互いに異なる極性を有する電極が配置されているので、音叉腕は逆相で屈曲振動をする音叉型屈曲水晶振動子をする。 （もっと読む）

【課題】周波数安定性の良い音叉型屈曲水晶振動子を提供する。
【解決手段】水晶ウエハ４０の上面と下面に金属膜４１を形成し、金属膜４１の上にレジスト４２を塗布し、エッチング加工により音叉腕４３，４４と音叉基部４５とを具えた音叉形状、及び音叉腕の上面と下面の各々に溝４６，４７，４８，４９を形成する。更に音叉形状の面の上に金属膜４１とレジスト４２を塗布し、一方の音叉腕４３の側面に配置された電極５０，５３と他方の音叉腕４４の溝４８，４９に配置された電極５５，５６とが同極となるように接続形成し、同様に音叉腕４３の溝４６，４７に配置された電極５１，５２と音叉腕４４の側面に配置された電極５４，５７とが同極となるように接続形成しする。即ち溝の側面とその側面に対抗する音叉腕の側面には互いに異なる極性を有する電極が配置されているので、音叉腕は逆相で屈曲振動をする周波数安定性に優れた音叉型屈曲水晶振動子が得られる。 （もっと読む）

【課題】小型化を図っても周波数のバラツキが小さく、かつ、信頼性及び電気的特性に優れた超小型の音叉型屈曲水晶振動子を備えた水晶発振器の製造方法と、その発振器を搭載した電子機器の製造方法を提供する。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動子１０の音叉腕２０、２６の上面に溝２１、２７を形成し、音叉腕２０、２６の下面にも上面と同様に溝を形成し、その溝と、その溝に対抗する側面に電極を形成し、その溝は音叉腕を形成した後に形成されるので、基準周波数に対する製造による周波数のバラツキを小さくでき、かつ、音叉腕に電極を形成した後に周波数の調整をするので、周波数の調整量が少なくなり、周波数偏差の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子を備えた水晶発振器が実現できる。加えて、その水晶発振器を電子機器に搭載するので、基準周波数に対する周波数偏差の小さい水晶発振器を備えた電子機器が同時に実現できる。 （もっと読む）

【課題】音叉型屈曲水晶振動子の周波数は音叉腕の幅と長さに依存し、加工精度が同じ場合には小型化を図ると、基準周波数に対する製造による周波数のバラツキが大きくなる点を解決した音叉型屈曲水晶振動子とその水晶ユニットの製造方法の提供。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動子は１０ｋＨｚから２００ｋＨｚの基準周波数を備え、音叉腕上下面に溝を形成し、該溝と、該溝に対抗する側面に電極を形成し、該溝は音叉腕形成後に形成されるので、基準周波数に対する製造での周波数バラツキを小さくでき、かつ、音叉腕に電極形成後に周波数の調整をするので、周波数の調整量が少なくなり、周波数偏差の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子が実現でき、且つ、その音叉型屈曲水晶振動子とその振動子を収納するケースと蓋とを備えた水晶ユニットを構成するので、基準周波数に対する周波数偏差の小さい超小型の水晶ユニットが同時に実現できる。 （もっと読む）

【課題】音叉基部と、その音叉基部に接続された音叉腕を備えた音叉型屈曲水晶振動子の製造方法と、その音叉型屈曲水晶振動子を収納したケースとを少なくとも備えて構成される水晶ユニットの製造方法と、その水晶ユニットを少なくとも備えて構成される水晶発振器の製造方法と、その水晶発振器を備えて構成される携帯機器の製造方法を提供することにある。
【解決手段】音叉腕の上下面に溝を形成する前に、音叉腕を形成し、溝の側面と、その溝の側面に対抗して互に電気的極性が異なる電極を配置するので、電気機械変換効率が良くなり、等価直列抵抗Ｒ_１の小さい、Ｑ値の高い、しかも、容量比の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子と、その音叉型屈曲水晶振動子を備えた水晶ユニットと、その水晶ユニットを備えた水晶発振器と、その水晶発振器を備えた携帯機器が得られる。 （もっと読む）

【課題】音叉型屈曲水晶振動子と、その振動子を収納したケースとを少なくとも備えて構成される水晶ユニットを少なくとも備えて構成される水晶発振器を提供することにある。
【解決手段】音叉腕の中立線を挟んだ略中央部の上下面に溝を形成し、当該溝と側面に電極を配置するので、電気機械変換効率が良くなり、等価直列抵抗Ｒ_１の小さい、Ｑ値の高い、しかも、容量比の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子を備えた水晶発振器が得られる。 （もっと読む）

【課題】音叉型屈曲水晶振動子と、その振動子を収納したケースと、そのケースの開口部を封止するための蓋を備えて構成され、高精度で、かつ、安価で、電気的特性に優れた水晶ユニットの製造方法を提供することにある。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動子の音叉腕を形成した後に、音叉腕の上下面に溝を形成し、当該溝と側面に電極を配置し、かつ、ケースに収納した後に、周波数調整をするので、高精度で、かつ、安価で、加えて、等価直列抵抗Ｒ_１の小さい、Ｑ値の高い、しかも、容量比の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子を備えた水晶ユニットが得られる。 （もっと読む）

【課題】音叉型屈曲水晶振動子と、増幅器と、コンデンサーと、抵抗素子とを備えて構成される水晶発振回路を備え、かつ、周波数安定性に優れた水晶発振器の製造方法を提供することにある。
【解決手段】音叉腕に溝を形成し、当該溝と側面に電極を配置するので、電気機械変換効率が良くなり、等価直列抵抗Ｒ_１の小さい、Ｑ値の高い、しかも、容量比の小さい超小型で、安価な音叉型屈曲水晶振動子を備えた水晶発振器が得られる。 （もっと読む）

【課題】音叉基部と、その音叉基部に接続された第１音叉腕と第２音叉腕を備え、電気的特性に優れた音叉型水晶振動子の製造方法を提供することにある。
【解決手段】第１音叉腕と第２音叉腕を形成した後に、各音叉腕に溝が形成され、その後に、音叉型水晶振動子の周波数が調整されるので、高精度で、安価な超小型の音叉型水晶振動子を実現することができる。 （もっと読む）