【課題】超音波振動子を配設した洗浄槽を備えたバリ処理装置において、十分なバリの除去能力を有する一方で、被処理物にダメージを与えないバリ処理装置を提供する。
【解決手段】超音波振動子を駆動させる駆動信号は、第１の周波数の矩形波パルス信号からなる第１の信号に、第１の周波数よりも高周波数とした第２の周波数から第１の周波数にスイープさせた第２の信号を重ねた信号とする。特に、第２の信号は、第１の信号の２分の１の周期の間で、第２の周波数から第１の周波数にスイープさせる。また、洗浄槽に供給する洗浄水は循環配管を介して循環させるとともに、この循環配管には活性水生成手段を介設し、洗浄槽には活性水を貯留させる。洗浄槽には超音波振動子の複数の発振素子を千鳥状に配置する。 （もっと読む）