【課題】被熱交換流体が流れる流路内における乱流形成部材の配置状態が改良された熱交換器を提供する。
【解決手段】本発明の熱交換器１は、被熱交換流体が流れる内部流路３１と、互いに連結されて整列した状態で内部流路３１の内部に配置された複数の球体４１と、を備える。本発明によると、内部流路３１内を流れる被熱交換流体の熱は、内部流路３１を形成する内管１２の表面から外部に放出される。内部流路３１に複数の乱流形成部材が配置されているため内部流路３１に乱流が形成される。その結果、流路を流れる被熱交換流体と、流路の外部との間での熱交換効率を向上させることができる。また、複数の球体４１は互いに連結されて整列した状態で内部流路３１に配置されているため、内部流路３１を流れる被熱交換流体の圧損が少ない。 （もっと読む）

【課題】有害ガス等といった取り扱いの困難な薬品を使用すること無く、炭化水素化合物に対して高い透過防止性能を有する被膜が樹脂の表面に形成された被覆成形品、及びそのような被覆成形品を製造する方法を提供すること。
【解決手段】本発明の被覆成形品１は、樹脂製基材２１の表面に、ポリシラザンを含有する硬化性組成物をシリカに転化させてなるシリカ層２２が形成されていることを特徴とし、炭化水素系化合物の貯蔵又は移送用として使用される。 （もっと読む）

【課題】被処理体に対して処理を行う処理容器を備えた処理装置において、処理容器及び被処理体の金属汚染を防ぐこと。
【解決手段】被処理体に対して処理を行うための処理容器を備えた処理装置において、少なくとも一部が金属により構成され、ハロゲンを含む腐食性ガスを前記処理容器に供給するためのガス供給流路と、前記ガス供給流路における金属部分を通流した前記腐食性のガスに光エネルギー、熱エネルギー及び衝突エネルギーの少なくとも一つを供給して、前記腐食性ガス中のハロゲンと前記金属とを含む化合物を安定化させるためのエネルギー供給部と、このエネルギー供給部によりエネルギーが供給されて安定化した化合物を捕捉する捕捉手段と、を備えるように処理装置を構成し、前記化合物が処理容器に供給されることを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】優れた摺動性を有する被膜を有する被覆成形品及びそのような被覆成形品を製造する方法を提供すること。
【解決手段】本発明の被覆成形品１は、基材２上に、ポリシラザンを含有する硬化性組成物を転化させてなるシリカ層が形成された被覆成形品であって、前記シリカ層は、前記被覆成形品の最外層に位置し、潤滑性付与剤５を含有する潤滑層４と、潤滑層４の下層に位置し、潤滑性付与剤を含有しない硬質層３と、からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基材の面粗度に関係なく、優れた耐食性を十分に発揮できる複合膜、およびその形成方法を提供する。
【解決手段】基板２０上に設けられた、シリカと樹脂を含有するコーティング膜１１と、該コーティング膜１１上に設けられたシリカ膜１２とを備えたことを特徴とする複合膜１０、および基材２０上に、ポリシラザンと、樹脂と、ポリシラザンとは反応せず、かつポリシラザンが溶解する溶媒とを含有する混合液を塗布し、乾燥させてコーティング膜１１を形成するコーティング膜形成工程と、前記コーティング膜１１上に、ポリシラザン溶液を塗布し、乾燥させてポリシラザン膜を形成するポリシラザン膜形成工程と、前記ポリシラザン膜中のポリシラザンをシリカに転化して、シリカ膜１２を形成するシリカ膜形成工程とを有することを特徴とする複合膜の形成方法。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作で、しかも基材に熱影響を与えずに短時間に、緻密なシリカ膜を形成する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基材１の表面１ａにポリシラザン含有膜３を形成する工程と、大気圧プラズマ領域を通過させたキャリアガスＰを前記ポリシラザン含有膜３に吹き付けてシリカ膜４へ転化させる工程と、を有することを特徴とするシリカ膜４の形成方法を用いることにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】小さい負バイアス電圧値で電磁波プラズマを発生させ、パイプのような高アスペクト比の内部形状を有する被処理部材の内部に前記電磁波プラズマを均一に伝搬させる電磁波プラズマ発生方法およびその発生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ガス供給部４０、ガス排出部４１および電磁波供給部２２が備えられたチャンバー１０と、被処理部材３にバイアス電圧を印加するバイアス印加手段３０とを具備しており、被処理部材３の中空部５にプラズマを発生させる電磁波プラズマ発生装置であって、前記電磁波供給部２２が前記チャンバー１０内を望む位置に配置され、かつ前記被処理部材３が前記チャンバー１０内に配置されるとともに、前記チャンバー１０内で発生されるプラズマ生成領域を前記中空部５内に誘導するプラズマ誘導手段１が少なくとも１つ以上備えられている電磁波プラズマ発生装置１０１を用いることにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】医療用部材の基材を高温にすることなく、表面が緻密で高い親水性を有するシリカ膜を短時間で形成することが可能な医療用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】医療用部材（特に、歯科用部材）の基材表面に、ポリシラザンを含有するポリシラザン膜を形成した後、過酸化水素を含有する蒸気を該ポリシラザン膜に曝露することによって、該ポリシラザンをシリカに転化させてシリカ膜を形成する工程を有する医療用部材の製造方法。該過酸化水素を含有する蒸気は、過酸化水素を含有する溶液にマイクロ波を照射して加熱することによって生成するものであることが好ましく、該過酸化水素を含有する蒸気に、マイクロ波を照射しながら、前記ポリシラザン膜に曝露ことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本願発明は、超純水等の純度の高い流体を加熱することができ、さらに熱伝達効率の高い加熱器を提供し、さらにこの加熱器を利用した清掃装置を提供する。
【解決手段】この発明は、高純度の流体が流れる金属配管と、該金属配管に囲設される加熱手段と、前記金属配管及び加熱手段に囲設される断熱材とによって少なくとも構成される加熱器において、前記金属配管の内側にはコーティング層が形成され、前記金属配管内には、複数の所定の大きさの熱伝導性充填物が配されると共に、該熱伝導性充填物は、前記コーティング層に接する接触部位を有すると共に、前記金属配管の中心を含み、前記接触部位と金属配管の径方向において対峙する部位が前記金属配管と非接触であることにある。 （もっと読む）

【課題】基材上にセラミック膜を、焼成工程を経ずに、短時間で形成できる方法を提供する。
【解決手段】基材上に、セラミック前駆体を含有するセラミック前駆体膜を形成し、該セラミック前駆体膜上に、水を含有する水層を形成した後、レーザ光またはマイクロ波を照射して前記セラミック前駆体膜をセラミック膜に転化させる工程を有することを特徴とするセラミック膜の製造方法。 （もっと読む）