クラスターイオンビームテクノロジー株式会社により出願された特許
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真空蒸着方法、及び真空蒸着用密封型蒸発源装置
昇華性の蒸発材料を蒸着する真空蒸着において、噴射用開口14を配しかつ内面からの放射熱により該蒸発材料を蒸気化する領域を有する気体密封型加熱容器11と、蒸発材料を加熱容器11からの伝導熱によっては蒸発しない領域に保持させる保持部15とを備え、発生する蒸気を噴射用開口14から容器外部の蒸着対象面に向けて噴射させるようにする。
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