【課題】限られた空間内でも交換を容易に且つ迅速に行うことができ、更に交換中の漏れを最少にするか或いはなくす分離ユニットを提供する。
【解決手段】分離ユニット（１２）はハウジングを含み、このハウジングは、入口（２３０）、この入口から間隔が隔てられた出口（２３５）、ハウジング内の分離手段を含む。入口は流体源と係合する第１形体を有し、出口は流体ソケットと係合する第２形体を有する。第１形体及び第２形体は異なる形体である。 （もっと読む）

【課題】限られた空間内でも交換を容易に且つ迅速に行うことができ、更に交換中の漏れを最少にするか或いはなくす流体分離アッセンブリを提供する。
【解決手段】分離ユニット（１２）はハウジングを含み、このハウジングは、入口（２３０）、出口（２３５）及び入口と出口との間でハウジング内に設けられた分離手段を有する。マニホールド（１０）は、分離ユニットと入口を通して流体連通する第１部分（１１６）及び分離ユニットと出口を通して流体連通する第２部分（１１４）を有する。マニホールドの第１部分は、ハウジングの入口と密封係合する第１形体を有し、マニホールドの第２部分は、ハウジングの出口と密封係合する第２形体を有し、第１及び第２の形体は異なる。 （もっと読む）

【課題】限られた空間内でも交換を容易に且つ迅速に行うことができ、更に交換中の漏れを最少にするか或いはなくす分離ユニットを提供する。
【解決手段】定置の流体源から流体を受け入れ、流体から一つ又はそれ以上の成分を分離し、残りの流体を定置の流体ソケット（２５２）に差し向けるための分離ユニット（１２）である。第１端及びこの第１端から間隔が隔てられた第２端、第１端に設けられており且つ流体源と密封係合するように形成された入口、及び第２端に設けられており且つ流体ソケットと密封係合するように形成された出口を有する。分離ユニットは、流体源又は流体ソケットを移動することなく、流体源及び流体ソケットに挿入でき且つ取り外すことができる。 （もっと読む）

【課題】限られた空間内でも交換を容易に且つ迅速に行うことができ、更に交換中の漏れを最少にするか或いはなくす流体分離アッセンブリを提供する。
【解決手段】分離ユニット（１２）はハウジングを含み、このハウジングは、入口（２３０）、出口（２３５）及び入口と出口との間で前記ハウジング内に設けられた分離手段を有する。マニホールド（１０）は、分離ユニットと入口を通して流体連通する第１部分（１１６）、及び分離ユニットと出口を通して流体連通する第２部分（１１４）を有する。ハウジング入口は、マニホールドの第１部分と密封係合する第１形体を有し、ハウジング出口は、マニホールドの第２部分と密封係合する第２形体を有し、第１及び第２の形体は異なる。 （もっと読む）

【課題】 ウェハの均一な被覆を提供するため、より大型のウェハのような基板上に多数の分配点を許容する制御装置を提供する。
【解決手段】 流体供給手段が、複数の分配ノズルＡ，Ｂ，Ｃに分配すべき流体を供給し、複数の分配ノズルの各々が１つの弁１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃと、流体供給手段及びノズルとを流体的に連通させる流体供給管１２とを有する。圧力感知手段２７が弁の下流にて流体供給管の各々内に設けられている。圧力感知手段に応答して前記流体供給管の各々内の圧力を比較し且つ全ての圧力差を表示する信号を発生させるコンピュータプロセッサが設けられている。更に圧力差を表示する信号に応答して弁の少なくとも１つを調節する手段を備える。 （もっと読む）