【課題】積層フィルム体の面方向に対して、均一に押圧することができ、接着強度に優れる積層フィルム体を製造することができる積層フィルム体の製造装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、複数のフィルム５０を挟持可能な対向する一対の無端ベルト１５ａ，１５ｂと、無端ベルト１５ａ，１５ｂそれぞれを介して複数のフィルム５０を加熱且つ押圧する一対の加熱加圧手段１６ａ，１６ｂと、該加熱加圧手段１６ａ，１６ｂの隣に配置され、無端ベルト１５ａ，１５ｂそれぞれを介して複数のフィルム５０を冷却する一対の冷却手段１７ａ，１７ｂと、を備え、加熱加圧手段１６ａ，１６ｂが無端ベルト１５ａ，１５ｂを加熱媒体Ｈにより直接加圧するものであることを特徴とする積層フィルム体の製造装置１０である。 （もっと読む）

【課題】薄型でありながら接着強度が優れると共に面全体において均一であり、十分な耐折性を有する金属箔張積層板を得ることができる金属箔張積層板の製造方法及びそれにより得られる金属箔張積層板を提供すること。
【解決手段】本発明は、基材フィルム１３と、基材フィルム１３にウレタン樹脂及びエポキシ樹脂を含む接着剤からなる厚さ６μｍ以下の接着層を介して積層された金属箔１１と、を備えた金属箔張積層板の製造方法であって、金属箔１１及び／又は基材フィルム１３の片面に接着剤を付与する付与工程と、金属箔１１及び基材フィルム１３を、接着剤を介して貼り合わせて積層体１５とする貼り合わせ工程と、積層体１５を向かい合う一対の金属板４１に挟持させ、加熱すると同時に、金属板４１を介して押圧する加熱押圧工程と、を備える金属箔張積層板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 寸法安定性、耐マイグレーション性、低吸水性、低誘電率、低誘電正接に優れたフレキシブル銅張積層板を提供することを目的とする。
【解決手段】 寸法安定性、フィルム表面の平滑性、耐熱性、耐薬品性、高引張り弾性率に優れた性能を有する極薄のアラミドフィルム１６と、寸法安定性、耐熱性、低吸水性、低誘電率、低誘電正接に優れた厚膜のポリイミドフィルム１２とを貼り合せ、良導体である微細プロファイル銅箔１７を耐熱性、耐薬品性、密着強度、低誘電率、低誘電正接、低吸水率に優れた極薄の接着剤１１を介してアラミドフィルム１６側に貼り合わせてフレキシブル銅張積層板を構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、真空チャンバー内を大気圧に戻すことなく順次効率良く上下基板の貼合わせを行うことができる上下基板の貼合わせ方法を提供すること。
【解決手段】本発明の上下基板の貼合わせ方法によれば、上基板Ｄａ及び／又は下基板Ｄｂを真空チャンバー２１内に搬入しても、密閉された小空間Ｓに存在する空気のみ真空チャンバー２１内に侵入するだけなので、減圧雰囲気をほぼそのまま維持することができる。また、この密閉された小空間Ｓの空気を真空吸引するようにすれば、真空チャンバー２１内に空気が侵入せず減圧雰囲気をそのまま保つことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、完全な真空でない状態においても上下ディスク間での気泡の発生を効果的に抑止することができる貼合わせ方法及び装置を提供すること。
【解決手段】 上チャンバー４ａと下チャンバー４ｂとで形成された真空チャンバー４内で上ディスクＤａと下ディスクＤｂとを相互に貼り合わせる貼合わせ方法であって、次の１）〜５）の工程を含む貼合わせ方法。
１）下ディスクＤｂを下チャンバー４ｂで保持し、該下ディスクＤｂから一定間隔を置いた上方の位置で上ディスクＤａを上チャンバー４ａで保持する工程、２）下ディスクＤｂを上反り状態にする工程、３）上ディスクＤａを落下させて、下ディスクＤｂと上ディスクＤａとを外周端側から内周端側に向けて相互に貼り合わせて行く工程、４）上ディスクＤａと下ディスクＤｂとが貼り合わされて一体化した貼合わせディスクの上反り状態を解消して平坦な状態にする工程からなる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、省スペース化を考慮したタクトタイムの短い真空貼合わせ方法及びそのための真空貼合わせ装置を提供すること。
【解決手段】回転テーブル上に配置された真空チャンバーの内部空間を、回転テーブルの回転と共に負圧化していき該内部空間にて上下ディスクを貼り合わせる真空貼合わせ方法である。
真空チャンバーは上チャンバーと下チャンバーとよりなり、上チャンバーに保持された上ディスクと下チャンバーに保持された下ディスクとを貼り合わせる。
下ディスクを中央凹み状態に保持し、上ディスクを該下ディスクの上に落下させて両ディスクを貼り合わせる。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、量産性に富む簡易な方法で、光ディスク基板に形成されるピットの高密度化を図ることができるレジストパターンの形成方法を提供すること。
【解決手段】 ポジ型のレジストパターンの形成方法においては、酸の発生した領域より小さい領域で分解反応が起こるようにベーキング工程においてベーキング温度及びベーキング時間を設定し、ネガ型のレジストパターンの形成方法においては、酸の発生した領域より小さい領域で架橋反応が起こるようにベーキング工程においてベーキング温度及びベーキング時間を設定した。特に、最大露光量の４０％以上８０％以下の露光量によって発生する酸の量以上で、前記分解反応又は架橋反応が起こるようにベーキング温度及びベーキング時間を設定することが好ましい。 （もっと読む）

射出成形されたばかりのディスク基板の冷却が効率良く行なわれると共に、限られた冷却空間内に多数のディスク基板を収容することができる光ディスクの冷風冷却装置を提供すること。
ディスク基板を起立した状態で移送する移送手段を有する光ディスクの冷風冷却装置４であって、該移送手段は、ディスク基板を複数点で支持して載置するための同期回転駆動される複数本の送り螺子軸を備えており、該送り螺子軸に形成された螺子のピッチが軸方向の位置によって異なっている光ディスクの冷風冷却装置。 （もっと読む）