【課題】従来のレーザ距離測定装置では、測定性能や装置構造のさらなる改善が望まれていた。
【解決手段】送信レーザ光ＬＴと目標で反射した受信レーザ光ＬＲの時間的なずれに基づいて目標までの距離を測定するレーザ距離測定装置Ｆ１であって、送信レーザ光ＬＴの発光部１と、受信レーザ光ＬＲの受光部２と、垂直軸回りに回転駆動される回転体３を備えると共に、回転体３に、回転しながら発光部１からの送信レーザ光ＬＴを外部の所定角度範囲に走査する送信光学系４と、回転しながら外部の所定角度範囲からの受信レーザ光ＬＲを受光部２に導く受信光学系５を設けたことにより、一つの回転体３に、送信光学系４及び受信光学系５をコンパクトに搭載すると共に、全方位分の送信レーザ光ＬＴを有効に使用するようにして、走査性能や測定性能のさらなる向上、及び装置構造のさらなる小型軽量化を実現した。 （もっと読む）

【課題】小型で広い範囲の曲率を精度よく測定できる曲率測定装置を提供する。
【解決手段】被検査体３を載置台５に載置し、レーザ発光器１０により発光されたビーム光をポリゴンミラー２２で等角速度走査し、ｆθレンズ５０を介して、被検査体３表面を走査する。被検査体３表面から反射されたレーザ光をシリンドリカルレンズ６０で集光し、載置台５の一点から等距離で、互いの距離が一定である位置に配置され、被検査体３から反射されるビーム光を検出する２つのビーム光検出センサ（第１及び第２レーザ光検出センサ３０，３２）でレーザ光を検出した時間差及び２つのビーム光検出センサ３０，３２の間の距離ｄ２、被検査体３表面からの距離Ｌに基づいて、被検査体３の表面の曲率を算出する。 （もっと読む）

【課題】共振周波数および最大光学振り角をすばやく測定できるようにする。
【解決手段】ＭＥＭＳミラー素子１０の駆動周波数ｆで駆動してレーザビームをジッタセンサ３１ａ，３１ｂに入光させ、レーザビームの１往復走査で出力される４つのジッタ信号のそれぞれの時間間隔を測定することにより、反時計方向の光学振り角Θ_ＣＣＷ（ｆ）および時計方向の光学振り角Θ_ＣＷ（ｆ）を計算する。駆動周波数ｆを分解能Δｆずつ増加または減少させる毎に、光学振り角Θ_ＣＣＷ（ｆ），Θ_ＣＷ（ｆ）を計算して、前回より光学振り角Θ_ＣＣＷ（ｆ），Θ_ＣＷ（ｆ）が小さくなると、前回の駆動周波数ｆを共振周波数ｆ_０とし、共振周波数ｆ_０のときにジッタセンサ３１ａ，３１ｂ間のそれぞれの時間間隔より最大光学振り角Θ_ＣＣＷ（ｆ_０），Θ_ＣＷ（ｆ_０）を計算する。 （もっと読む）

【課題】レンズ像の画像解析を使用することなしに比較的簡単な構成で、傷，ごみ，異物，気泡，応力歪等の検査を精密に行うことができる。
【解決手段】偏光板１３ａ，１３ｂは、一対の半導体レーザ１０ａ，１０ｂから発振された光ビームを互いに直交する方向に偏光させ、１／２波長板１２は、一方の光ビームの偏光面を１８０度回転させ、ビームスプリッタ１４は、２つの光ビームを重畳させる。重畳された光ビームは、全反射ミラー１５，１６で反射され被検査レンズ１９に入射される。被検査レンズ１９を通過した光ビームは、ハーフミラー２０で分離され、集光レンズ２１ａ，２１ｂで集光され、偏光板２１ａ，２１ｂで互いに直交する方向に偏光されてフォトダイオード２３ａ，２３ｂに入射される。 （もっと読む）

【課題】センサ対の数よりも多数の主走査位置で走査レーザビームの主走査方向および副走査方向のビーム径を測定可能とする。
【解決手段】Ｘステージ１５を主走査方向Ｘに移動させることにより、Ｘステージ１５に所定の間隔を隔てて配置されたスリット付ピンフォトダイオード１７ａ，１７ｂ，１７ｃおよびＣＣＤラインセンサ１８ａ，１８ｂ，１８ｃからなる３組のセンサ対も走査方向Ｘの任意の位置に移動する。このため、センサ対の数よりも多数の主走査位置で走査レーザビームの主走査方向および副走査方向のビーム径を測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 任意の走査角度における走査レーザビーム径を測定できるようにする。
【解決手段】フォトセンサ３３およびビームディテクタ３４，３５が走査レーザビームの走査ライン上に一直線をなすように配置されている。コンピュータは、回転ナイフエッジ２５の回転角毎にフォトセンサ３３からの出力信号を微分して走査レーザビームの二次元プロファイルを得、二次元プロファイルをマッピング加算して三次元プロファイルを得る。そして、三次元プロファイルのピーク値を１とするときに強度が１／ｅ^２となる部分の径を走査レーザビーム径とする。 （もっと読む）