【課題】音響光学素子を用いて、単色のコヒーレントな電磁放射を光学的に分割および変調するための装置において、音波のビートによる光の振幅変動を抑制する。
【解決手段】装置は、ビーム源２と、ビーム源によって生成されたビーム４を複数の部分ビームＬ１〜４に分割する音響光学素子８と、その下流側に配置される変調器２２と、ビーム４を分割するための電気信号１２を音響光学素子８に印加するための信号生成器１４とを含み、分割されるビームの数にかかわらず、個々の部分ビームＬ１〜４の強度を一定に保つように、音響光学素子８およびその下流側に配置される音響光学変調器２２の駆動波形を制御する。 （もっと読む）

本発明は、放射線感応基板（１７）が放射線反応する波長を有するコヒーレント放射線（２）を使用して、プログラマブルテンプレート（６）が基板上（１７）に投射される放射線感応基板（１７）を撮像するための方法に関する。画像グリッド（３０）を有するプログラマブルテンプレート（６）の全体画像は、複数の投射が基板（１７）の異なる位置に作用して基板（１７）上の画像グリッド（３０）に細かい部分グリッド（３１）が形成されるように、音響光学または電気光学偏向ユニット（１１）によって同時に変位される。本発明はさらに、前記方法を実行する装置に関する。
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本発明は、結像ビームの経路内に配置され、かつ具体的には平行平面板媒体またはガラス板として構成され、使用される放射線に関して周囲の媒体と異なる屈折率を有する、回転可能に配置される放射線屈折物体（２）を用いて、放射の方向と垂直な、電磁放射線（１４）により伝播させられる像（８）の変位のための方法に関する。本発明は、さらに方法を実行するための装置に関する。方法および装置は、最適化された正確な像変位が達成されるという点で改良されたものにされるべきである。この目的のために、本発明は、測定のために利用される別の電磁ビーム（１８）の角度変化により引き起こされる光路長の変化が、平面反射面（２４）により反射される放射線と、入射電磁放射線との重ね合わせを評価することにより決定されることで、および放射線屈折物体（２）の表面（４４）上で反射される電磁測定ビーム（１８）の一部（４２）が、電磁放射線（１８）の入射位置に応じて電気信号（４８）を供給する測定ユニット（４６）に衝突することで、変位を引き起こす放射線屈折物体（２）の回転を測定することを提案する。
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プログラマブルマスク（１）によって生成されるパターンを感光層を備える基板（２）上に撮像するための方法に関し、光スポット（３）が、照明ユニットによって、マスク（１）上に生成され、パターンに対応する個々の画像（４）が、光学ユニット（６）によって基板（２）上に生成される。この方法を実行するための装置およびそのような装置の使用に関する。方法、装置、および、その装置の使用は、改善された解像度および高い生産性を達成できるように設計され、特に、基板上に撮像するための構造エッジの位置決めが最適化される。上述したことは、少なくとも２回の照明プロセスを感光層に施すことによって達成されてもよく、それらの照明プロセスの光スポット（３）または光点は、互いに向かい合って配置され、照明ラスターは、同じ数の光スポットまたは光点（３）に対して拡張され、さらにまた、照明プロセスの回数は、同じ比だけ増加させられる。
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単色のコヒーレントな電磁放射、特に光ビームおよび／またはレーザビームを光学的に分割および変調するための装置であって、ビーム源２と、ビーム源の下流側に配置されて、ビーム源によって生成されたビーム４を複数の部分ビームＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４に分割するように機能する音響光学素子８と、変調器２２と、ビーム４を分割するための電気信号１２を音響光学素子８に印加するための信号生成器１４とを含む。装置は、簡潔かつ機能的に信頼できる構成と併せて、ビーム源２によって放射されるビームの数にかかわらず、分割された個々の部分ビームＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４の強度を一定に保つことができるという趣旨で開発されることを目的とする。この目的のため、変調器を、音響光学素子８の下流側に配置される音響光学変調器２２として具現化すること、および音響光学変調器２２に、分割された部分ビームＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４が変調のために供給され、音響光学変調器２２を、さらなる高周波電気信号Ｍｆ１によって駆動できることが提案される。
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