圧力測定セル構造は光学式の隔膜圧力変換器２３を含んでおり、該隔膜圧力変換器は、ハウジング本体１およびこれからわずかな間隔をおいて配置された隔膜５を含んでおり、該隔膜は測定されるべき気体状の媒体を有するプロセス空間１２に暴露されており、ハウジング本体１は光学的に透明な窓３を有している。この窓３から間隔をおきながら光学経路９を介して隔膜５の表面へ光を入力結合および出力結合するための光ファイバ２２を備える信号記録ユニット３２が設けられており、それによって隔膜５の撓みを信号評価ユニット２４で検出するための測定区間が形成されており、それによってファブリ・ペロ干渉計構造が構成される。このときプロセス空間１２は室壁３０により大気１０に対して遮蔽するように取り囲まれており、プロセス空間１２は分離手段２５で区切られており、それにより分離手段２５，３１とこれから間隔をおく室壁３０との間に人工気象空間１１が形成されている。信号記録ユニット３２は光学的に挿通するように室壁３０に配置されており、分離手段２５は少なくとも光学経路９の領域に光学的に透明な手段２５ａを有しており、それにより隔膜圧力変換器２３と信号記録ユニット３２との間で光学的な圧力信号を伝送するための光学的な結合が成立している。
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【課題】磨減や摩擦を生じる運動がシール材に発生せず、長期間の耐用期間・動作期間後にも使用開始時のトルクが低下することがない、バタフライ型式のバルブ構造を提供する。
【解決手段】環状のハウジング部分１１およびその内部で回転軸を中心として回転可能に配置された弁体１２，１２’を含んでおり、ハウジング部分には弁座１７が配置されており、弁座はプレート状に構成されるとともに、隣接する２つの開口部２０，２１を有しており、回転軸はウェブと平行に配置されており、弁体は２部分で構成されており、弁体はそれぞれの平面で相互に平行に、かつこれに対する垂直方向ではオフセットされており、閉じた位置のとき弁体が弁座プレートの両方の側でそれぞれ位置決めされ、開口部の間にはその輪郭および両方の弁体に沿って弁座プレートの両側にそれぞれ１つのシール材１５，１６が配置されており、弁体が閉じたときに当接する。 （もっと読む）

圧力測定セルは、第１のハウジング本体（１）と、このハウジング本体の近傍に配置された隔膜（２）とを有しており、両者はセラミック製である。隔膜（２）は第１のハウジング本体（１）と結合された外側縁部を有しており、それにより基準真空室（２５）を形成する。セラミック材料から製作される第２のハウジング本体（４）は隔膜（２）と向かい合うとともに、隔膜の外側縁部と結合されており、第２のハウジング（４）は隔膜（２）とともに圧力測定室（２６）を形成する。第２のハウジング本体（４）は、測定されるべき媒体と圧力測定セルを接続するための接続管（５）を有している。第１のハウジング本体（１）、第２のハウジング本体（４）、および隔膜（２）は隔膜の外側縁部のところで互いに気密に結合されており、第１のハウジング本体（１）の中央領域には、第１のハウジング本体を通過して少なくとも隔膜の中央領域まで達する穴（７）が形成されており、この穴（７）に向かい合うように隔膜（２）の表面は第１の光学反射面（１０）として構成されている。光ファイバ（１５）が穴（７）に配置されて気密に取り付けられており、それにより隔膜の表面へと光を案内する。ファイバ（１５）の端部は少なくとも第１のハウジング本体（１）の表面に達しており、ファイバ端部（１６）と隔膜（２）の反射面との間に光学キャビティ（３０）が構成されるように隔膜（２）の第１の光学反射表面と結合する第２の光学反射面として構成されており、該キャビティは隔膜（２）の変形を判定するための測定区域を形成するとともに、ファブリ・ペロ干渉計の一部である。
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測定量（１２）の変化に従って変化する光学的な経路長差（ｄ_Ｇａｐ）を光に対して生成する空洞共振器（１１）を含む測定セル（５）による測定量（１２）の評価のために、次の各ステップが提案される：光導波路（４）の経路に配置された結合器（３）を介して前記光導波路（４）により白色光源（２）の光（１）を前記空洞共振器（１１）へ導入し、前記空洞共振器（１１）から前記光導波路へ反射された光（１’）の少なくとも一部を前記結合器（３）によって出力結合し、この反射された光（１’）を光学式の分光計（６）へ供給し、前記分光計（６）で反射された光（１’）の光学的なスペクトルを判定して、分光計信号（８）を生成し、前記分光計信号（８）を計算ユニット（９）へ供給し、前記分光計信号（８）は前記計算ユニット（９）により干渉図形へ直接的に変換され、その強度推移からそれぞれの振幅極値の位置が判定され、このそれぞれの位置が、測定量（１２）を含む、前記空洞共振器内での光学的な経路長差のそれぞれの値を直接的に表している。
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隔膜圧力測定セル構造は、少なくとも部分的にサファイアからなるハウジング本体（２）と、基準真空室（５）を形成するために、第１のシール材（８）によってハウジング本体（２）と結合された周辺の縁部領域を備えるサファイア隔膜（６）とを含んでいる。隔膜（６）の外側表面は測定されるべき媒体に対して暴露される。セラミックの支持体（１）がハウジング本体（２）の裏面にガラスはんだによって配置されており、この支持体は、ハウジング本体（２）を取り囲んで第１の封止面を形成するオーバーハングの面を有している。管状の測定セルハウジング（１９）がセラミックの支持体（２）に組み付けられた測定セルを収容しており、測定セルハウジング（１９）は、第１の封止面と対応する取り囲む封止面（３５）を内部に有している。これらの封止面の間には金属リングシール材（１８）が配置されており、これらの封止面を押し合わせるために圧着手段（２０）が設けられている。
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真空測定セル構造の較正をするために次の方法手順が提案される：ａ）測定セル構造（１）を較正装置（１０）と接続し、測定接続部（５）を真空容積部（５８）に接続するとともに信号回線（２０）を介して測定セルインターフェース（８）を較正進行制御部（１１）に接続し、ｂ）測定セル構造部で設定可能な一定の値に合わせて第１の加熱温度を調整し、ｃ）少なくとも１つの所定の圧力を真空容積部（５８）で生成し、それと同時に測定セル構造（１）および少なくとも１つの参照測定セル（６）の真空信号を検出することによって測定セル構造（１）の第１の較正ステップを実行し、検出された圧力値を較正データ記憶装置（１３）に保存し、ｄ）測定セル構造（１）と参照測定セル（６）の判定された相違値から較正プロセッサ（１４）で補正値を算定し、これらの相違値を較正進行制御部（１１）の較正データ記憶装置（１３）に中間保存し、ｅ）さまざまな所定の作業点で判定された参照測定セル（６０）に対する圧力と温度の相違する値について、算定された補正値を測定セルデータ記憶装置（６）へ伝送することによって測定セル構造（１）を調節する。
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