【課題】サブストレート上の構造の位置決定の間に、測定テーブルの空間的な回転及び／又は測定対物レンズの傾きによって生じた測定誤差の決定を可能にするだけでなく、傾き又は回転に応じた測定値の修正をも可能にする手段と、測定テーブル位置の回転及び／又は測定対物レンズの傾きを決定する方法であって、サブストレート上の構造の位置の測定値が、決定された傾き及び／又は回転に基づいて対応して修正される方法とを提供する。
【解決手段】座標測定器（１）の少なくとも一つの移動要素（９、２０）の空間位置を決定するための手段と方法とが開示される。少なくとも一つのレーザー干渉計（２４）は、測定ビーム（２３）を移動要素（９、２０）に向ける。少なくとも一つのレーザー干渉計は、Ｘ座標方向まわりの又はＹ座標方向まわりの又はＺ座標方向まわりの移動要素（９、２０）の回転を決定するために、さらなる測定ビームを移動要素に向ける。 （もっと読む）

【課題】基板トポロジから生じる基板上の構造物のエッジ位置の測定における系統誤差の決定方法を提供する。
【解決手段】基板トポロジおよび／または基板ホルダの幾何学的配置に応じて横方向補正を決定する方法が開示される。基板（２）はＸ座標方向およびＹ座標方向に横断可能な、測定される基板（２）を担持する測定台（２０）上に配置される。基板（２）は平面（２０ａ）を規定する少なくとも３つの支持点（３０）上に支持される。 （もっと読む）

【課題】座標測定装置（１）の座標系（４０）に対する基板（２）の曲がり度の補正値を割り当てる方法を提供する。
【解決手段】座標測定装置（１）内の基板ホルダ（２７）に載置された各基板（２）に関し、基板ホルダ（２７）上の２以上の参照マーク（３２）の、座標測定装置（１）の座標系（４０）に対する位置が自動的に測定される。 （もっと読む）

【課題】自動的に自己校正を行うことができる座標測定装置を提供すること。
【解決手段】基板２の自動配向装置３４が関連した座標測定装置１であり、さらに制御及び計算ユニット１６が関連し、自動的にセットされる２以上の異なる基板２の配向に基づいて、自動校正が行われる。 （もっと読む）

【課題】 座標測定装置の多座標測定テーブル用前進手段およびそのような前進手段の制御方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、座標軸（ｘ、ｙ）毎に摩擦ロッド（１０、１２）とモータとを有する駆動ユニット（２２）を備える多座標測定テーブル用前進手段に関する。モータは、そのモータシャフト（１９）で摩擦ロッド（１０、１２）の一方側と接触し、少なくとも１つの押圧ローラ（２０）が、摩擦ロッド（１０、１２）の他方側と接触する。押圧ローラ（２０）と、摩擦ロッド（１０、１２）と、モータシャフト（１９）とを互いに対して押圧力で付勢することにより、モータシャフト（１９）を摩擦ロッド（１０、１２）と摩擦係合させ、モータの回転運動を摩擦ロッド（１０、１２）の直線運動に変換する少なくとも１つの押圧手段（２５）が設けられている。そのような前進手段を制御する方法も開示されている。 （もっと読む）

【課題】座標測定機および基板の構造化照明方法を提供する。
【解決手段】基板の構造化照明用座標測定機（１）が開示されている。入射光照明手段（１４）および／または透過光照明手段（６）は瞳アクセスを有し、それを介して少なくとも１つの光学素子（３５、８８）が照明光路（４、５）内に配置可能である。座標測定機（１）内の基板の構造化照明が、ステッパによる露光プロセスにおけるこの基板の構造化照明に対応するように、瞳照明のサイズおよび／またはタイプおよび／または偏光が操作され得る。 （もっと読む）

【課題】対物レンズの瞳の構造化された照明が簡単な方法で達成できる、均質化された照明のための要素を提供すること。
【解決手段】偏光度の同時調整による照明の均質化のための要素１であって、要素１は少なくとも２つの部材から構成され、第１の部材３はマイクロレンズ配列を含み、第２の部材５は所望の偏光に調整するためのフィルタを含む。 （もっと読む）

【課題】半導体製造用のサブストレート上の或る周期的な構造体を測定する高解像度を備えた測定装置を提供する。
【解決手段】半導体製造用のサブストレート上の周期的な構造体を測定する高解像度の測定装置を開示する。様々な幾何学形状のアパーチャ構造体が照明ビーム経路に設けられる。これらは、光の透過特性に関して異なり、光学装置のイメージング瞳の回折次数の強度分布を変える。 （もっと読む）

【課題】ウエハ（６）縁部の上部表面（６ａ）、端面（６ｂ）及び下部表面（６ｃ）の欠陥を簡単な方法で検査できる装置及び欠陥画像撮像方法を提供すること。
【解決手段】本装置は、ウエハ（６）の縁部領域の欠陥をユーザが評価するか、自動で行うことができる。特に本装置は、３つのカメラ（２５、２６、２７）を含み、各カメラは対物レンズ（３０）を備え、第１のカメラ（２５）はウエハ（６）の上部縁部領域（６ａ）に相対するように配置され、第２のカメラ（２６）はウエハ（６）の端面（６ｂ）に相対するように配置され、第３のカメラ（２７）はウエハ（６）の下部縁部領域（６ｃ）に相対するように配置される。 （もっと読む）

【課題】撮影する画像の品質を低下させる焦点調節の問題のない、ウエハ縁端部の上部表面の欠陥の高分解能画像を取得する方法を提供すること。
【解決手段】ウエハ縁端部の上部表面の高分解能欠陥画像を取得する方法を開示する。そのため、最初にウエハ縁端部の上部表面の少なくとも１つの欠陥の位置を決定し、記憶する。そしてウエハを微視的検査装置に移送し、欠陥をより詳細に検査し、撮像する。微視的検査装置で撮像された画像はディレクトリで保存される。 （もっと読む）