【課題】蛍光顕微鏡検査のために最適化された位相コントラスト技術を提供する。
【解決手段】強度および他の顕微鏡検査様式の光学的な質を阻害することなく位相差顕微鏡画像を生成するシステムおよび方法は、位相顕微鏡検査適用のための波長特異的な照明ストラテジーおよび減衰ストラテジーを用いる。特異的な波長でのみ不透明である波長特異的対物位相リングが位相顕微鏡検査装置に付随して使用され得る。波長の減衰は、モニターされる蛍光シグナルのために所望される範囲の外である波長に関してのみ不透明性が選択的に提供され得るように調節され得る。対物位相リングのための不透明な波長の範囲内の照明が位相顕微鏡検査適用のために選択され得る。それ故、波長特異的位相顕微鏡検査を可能にするために有効な対物位相リングは、例えば、蛍光顕微鏡検査のような他の適用のための顕微鏡の一般的な使用法を阻害しない。 （もっと読む）

多軸統合（ＭＡＩ）を用いる画像取得システムおよび方法では、光軸統合（ＯＡＩ）技術と、時間遅延統合（ＴＤＩ）技術とをともに組み込み得る。本出願において開示したＭＡＩシステムおよび方法は、データが取得されたときにおいて、ｚ方向に画像データを統合し得、逆畳み込みの前に画像データを投影する。ｚ方向へのスキャン中における画像面の横方向への平行移動により、単一のスキャンシーケンスによる大面積の画像化が可能になる。
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プローブカードアナライザシステムにおける部品のたわみの影響を軽減するシステムおよび方法では、たわみ特性をモデル化するために比較三次元光学測定技術を実行することができる。例示的なシステムおよび方法では、「効果的に荷重がかかる」平坦度測定を実現するために非バス型電気的平坦度測定と迅速な光学的平坦度測定が組み合わされる。具体的には、本発明は、以下を提供する：基準板のたわみによる平坦度の影響を算定するステップと、プローブカードのたわみによる平坦度の影響とプローブカード取り付け部のたわみによる平坦度の影響とを組み合わせるステップと、前記算定ステップおよび前記組み合わせステップに応じて、前記プローブカードに対して荷重を補整して平坦度を算出するステップとを含む、プローブカード分析システムにおいて平坦度測定値を獲得する方法。
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強度および他の顕微鏡検査様式の光学的な質を阻害することなく、位相差顕微鏡画像を生成し、かつこれを得るシステムおよび方法は、位相顕微鏡検査適用のための波長特異的な照明ストラテジーおよび減衰ストラテジーを用いる。特異的な波長でのみ不透明である波長特異的対物位相リングが、位相顕微鏡検査装置に関連して使用され得る。波長の減衰は、モニターされる蛍光シグナルのために所望される範囲の外である波長に関してのみ、不透明性が選択的に提供され得るように調節され得る。対物位相リングのための不透明な波長の範囲内の照明が、位相顕微鏡検査適用のために選択され得る。従って、波長特異的位相顕微鏡検査を可能にするために有効な対物位相リングは、例えば、蛍光顕微鏡検査のような他の適用のための顕微鏡の一般的な使用法を阻害しなくともよい。
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