【課題】ＳＰＭセンサの走査尖端部及び目印の製造方法の提供。
【解決手段】ＳＰＭセンサ１は保持部材２、カンチレバー３、カンチレバー３の下面６上の走査尖端部４及びカンチレバー３の上面７上の目印８を含んで構成されている。カンチレバー３の上面７上の目印８は、カンチレバー３の下面６の走査尖端部４に対応する位置に備えられている。そのため走査尖端部４の正確な位置がカンチレバー３の上面７に示されるので、ＳＰＭセンサが簡単に調整できる。保持部材２はカンチレバー３と共に従来の方法により準備され、次いで走査尖端部４及び目印８は粒子線の照射によりカンチレバー３上に蒸着して自動的に調整されて生成される。 （もっと読む）

【課題】プローブが傾いたときでも、プローブの一部がサンプルの表面に接触する問題を解決する。
【解決手段】細長い支持エレメント、および走査チップを保持するカンチレバーを備えたＳＰＭプローブであって、支持エレメントは、支持エレメントとカンチレバーの長手方向に延びる細長い突起部分を有し、突起部分は、基本的に台形断面を有し、カンチレバーは、支持エレメントの突起部分の狭い横エッジの表面に配置され、カンチレバーを備えた突起部分は、好ましくは、支持エレメントの前方側面の長め横エッジに配置され、走査チップと、主要コーナーの１つを通る理論的直線との間に延びて、支持エレメントの下面の側面長手エッジに平行な平面は、横エッジに対して少なくとも５°の傾斜角度を形成する、ＳＰＭプローブが提供される。 （もっと読む）

【課題】迅速、簡単に交換でき、極小カンチレバーの長さによらず走査探針がサンプルに高い再現性で自動的に位置合わせされるように走査プローブの高精度の自動位置決めを可能にする走査プローブを提供する。
【解決手段】一端（５）にサンプルを走査するための走査探針（６）を有し、他端（１３）に支持部材（３）に走査プローブ（１）を着脱可能に取り付けるための保持部材（２）を有する極小カンチレバー（４）を備え、保持部材（２）及び支持部材（３）には保持部材（２）が支持部材（３）に取り付けられた際に、保持部材（２）をプローブホルダに対して自動的に再現可能に位置決めする、対応する位置決め部が配設された走査プローブ（１）。走査探針（６）と保持部材（２）の所定の基準点（９）との間の距離（１２）は一定であり、そのため走査プローブ（１）を交換した際に走査プローブ（１）の縦方向の位置決めが不要となる。 （もっと読む）

【課題】塗布した加工品の表面への塗料噴霧の再沈着及び塗料噴霧による汚染を抑えられる塗布装置及び方法の提供。
【解決手段】塗布装置１は加工品３の面に塗料を塗布する塗布ノズル２及び塗料蒸気及び／又は塗料噴霧を含んだ空気を吸引する吸引装置を有し、塗布ノズル２と加工品３は相対的に可動に構成している。塗布ノズル２の開口部９を覆うように配置した吸引ベル４を噴霧ノズル２のノズル壁１４に強固に連結する。吸引ベル４は内部ベル５及び外部ベル６を含んで構成され、加工品３から僅かな間隔を隔てて配置されている。外部ベル６は内部ベル５を覆うように、互いに離れた状態を保って配置され、内部ベル５が噴霧室７を形成し、外部ベル６及び内部ベル５はその間に吸引口１０を有する吸引室８を形成する。 （もっと読む）

【課題】 走査型探針顕微鏡用センサ及びその製造方法の提供。
【解決手段】 走査型探針顕微鏡用センサは、カンチレバー（３）、保持部材（２）及び電子線蒸着型（以後ＥＢＤと略称する）探針尖端（５）を備えたセンサ尖端（４）を含んで構成し、カンチレバー（３）のそれぞれの端部に保持部材（２）及びセンサ尖端（４）を形成し、ＥＢＤ探針尖端（５）はセンサ尖端（４）の基部に直に固定され、ＥＢＤ探針先端（５）はセンサ尖端（４）の基部の一部を除去して形成した孔（６）に噛み合って固定されることを特徴としている。その製造方法はホトリソグラフィーのエッチング工程によるか又は粒子線照射による材料の除去後に、センサ尖端（４）の孔（６）にＥＢＤ探針尖端（５）を粒子線蒸着により形成する工程を含むことを特徴としている。 （もっと読む）