【課題】
従来、試料台の移動に１軸回転直線移送型トランスファーロッドが使われる場合が多いが、試料台を掴む動作をする機構に問題があるために、試料台を掴んだ部分に試料台が張り付いてしまい、取れにくいという問題がある。
【解決手段】
試料等の移送の為に、１軸回転直線移送型のトランスクァーロッドの先端に、ネジで前後する部品と、その前後移動部品を開閉動作に変換する部品で構成される機構を組み込み、試料台を掴む、放す動作を実現し、さらに放す時に、ネジ前後移動部品が、試料台を押し出すことで確実に試料台を放す機能を組み込む１軸回転直線移送型のトランスファーロッドである。 （もっと読む）