封止されたエンクロージャに含まれる気体に放電を生成する方法が開示される。方法は、ＲＦ周波数で螺旋状コイル共振器を駆動して高圧気体に放電を生成するのに十分なＲＦ電磁界を生成するステップを含む。放電は、発光スペクトルを生成し、それは、気体の組成および不純物含量を決定するために、分光的に分析されてもよい。
（もっと読む）