【課題】本発明は、セラミックシートの自動的な検査にも適用できるものであり、大量のセラミックシートから反りなどの欠陥を効率良く且つ正確に検出するための方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るセラミックシート（但し、固体酸化物形燃料電池の固体電解質膜用セラミックシートを除く）の検査方法は、当該セラミックシートの反りを三角測距式変位センサーで検出する工程；および、次に、セラミックシートの表面および内部に存在する欠陥を透過型光電センサーで検出する工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面に形成されたパターンの境界線の検出精度を向上することができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】（ａ）被検査物２の表面２ａに斜め方向から光束１５ａを照射し、光束１５ａの照射位置１５ｓを線状に移動させる発光部１４と、（ｂ）照射位置１５ｓで正反射した正反射光１５ｂを検出して信号を出力する受光部と、（ｃ）光束１５ａの断面強度分布の逆フィルタを含み、受光部が出力した信号を逆フィルタに通した後の信号に基づいて、被検査物の表面に形成されたパターンの境界を検出するパターン検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被検査物の凹凸が形成された表面を、簡単な構成によって、高精度に、かつ容易に検査することができる、表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】（ａ）被検査物２の表面２ａに斜め方向から光束１５ａを照射し、照射位置１５ｓを線状に移動させる発光部１４と、（ｂ）被検査物２に関して発光部１４と同じ側において照射位置１５ｓに対向して線状に延在する受光窓１６ｓを有し、受光窓１６ｓを通った光束成分の強度を検出する受光部と、（ｃ）受光部が検出した光束成分の強度に基づいて被検査物２の表面２ａの照射位置１５ｓについて良否判定を行う判定部と、を備える。受光窓１６ｓは、光束成分として、光束１５ａが被検査物２の表面２ａで正反射され、被検査物２の表面２ａに形成された凹凸によって向きが変動する正反射光１５ｂの全てが通るように、広げられている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、透明な被検査物の表面と内部の両方を同時に検査することができる透明物の検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】（ａ）透明な被検査物２の表面２ａに斜め方向から光束１５ａを照射し、照射位置１５ｓを線状に移動させる発光部１４と、（ｂ）被検査物２に関して発光部１４と同じ側において照射位置１５ｓに対向して線状に延在する受光窓１６ｓを有し、受光窓１６ｓを通った光束成分の強度を検出する受光部と、（ｃ）受光部が検出した光束成分の強度に基づいて被検査物の良否判定を行う判定部と、を備える。受光窓１６ｓは、光束成分として、光束１５ａが照射位置１５ｓにおいて被検査物２の表面２ａで正反射された正反射光成分１５ｂと、光束１５ａが照射位置１５ｓで被検査物２の内部に入射し、裏面２ｂで反射した後、表面２ａから出射した内部反射成分１５ｅとの両方が同時に通るように、広げて形成されている。 （もっと読む）

【課題】平坦な被検査物をフラットな状態を維持しながら搬送して、精度よく欠陥を検出する。
【解決手段】ベース部材５の一対の電極７、８に、互いに逆極性の電圧が印加されると、電極７、８と被検査物１との間にクーロン力が誘起される。平坦な被検査物１はベース部材５に所定の間隔で保持され、フラットな状態を維持しながら台車１４により被検査物１は搬送される。発光部１５は、被検査物１の表面にレーザ光を幅方向に走査しながら照射する。幅方向に延設された受光部１６は、被検査物１の表面からの反射光を受光する。検査制御部１７は、受光部１６からの検出信号に基づいて、被検査物１の表面の欠陥を判別する。 （もっと読む）

【課題】 微量の蛍光物質を含有した被検査物から放出される蛍光を環境光の下で確実に検出する。
【解決手段】 光源２からパルス光を被検査物１に照射する。被検査物１から放出された蛍光を光センサ３が受光し、抽出部１２は、光センサ３の出力からパルス光が照射されていない期間における出力を抽出する。パターン形成部１３は、ノイズ成分を排除して、蛍光の減衰パターンを導き出す。演算部１５は、減衰パターンと基準パターンとの畳み込み演算する。処理部１６は、複数の演算結果を平均化して、相関を求める。識別部６は、相関出力から特定の蛍光物質を識別する。 （もっと読む）

【課題】 装置を小型化しつつ、検出精度を向上することができる蛍光検出装置を提供する。
【解決手段】 ａ）本体と、ｂ）本体の端部に配置され、本体の端部に対向する所定位置に向けて光を照射する発光素子２と、ｃ）本体の端部に配置され、所定位置に配置された被検査物からの光を検出して検出信号を出力する受光素子４，６，８と、ｄ）発光素子２を発光させ、受光素子４，６，８からの検出信号により、被検査物に含まれる蛍光物質による蛍光成分を分析する計測回路と、ｅ）本体の端部に配置され、本体の端部と所定位置との間に、発光素子２と所定位置との間及び受光素子４，６，８と所定位置との間を連通する連通空間を形成するヘッド部１６とを備える。ヘッド部１６の連通空間を形成する内面１６ａが高反射率である。 （もっと読む）

【課題】 ２つの透明層を有する被検査物について簡単な構成で検査を行うことができる、透明層の検査装置を提供する。
【解決手段】 第１の透明層１２に対して所定の第１の入射角α_１で、照射位置１８ａを変えながら、Ｐ波の第１のレーザビーム２０を照射する、第１の投光部と、第１の透明層１２に照射された第１のレーザビーム２０により、第１の透明層１２で直ちに反射する表面反射光２２と、第１の透明層１２に一端入射した後、第１の透明層１２と第２の透明層１４との界面１３で反射して第１の透明層１２から出射する界面反射光２６との間で発生させた干渉光の強度又は干渉縞を検出して信号を出力する干渉光受光部と、第１の投光部が照射する第１のレーザビーム２０の照射位置１８ａと、干渉光受光部から出力される信号とに基づいて、第１の透明層１２の不均一部分を検出する第１の検出部とを備える。 （もっと読む）