【課題】走査ビームの粒子モニタの結果生じるパルストレインを分析するための新規な方法。
【解決手段】信号対ノイズの比率を高め、粒子の誤りアラーム率を大幅に低減する。時間領域で行われるので、スキャナ周波数で発生しないノイズパルスを濾波する。この分析はさらに、順方向を向いたおよび逆方向を向いた自己相関を行うことにより粒子−パルス−エンベロープ（ＰＰＥ）を識別する。ガウシアンフィットがその後、識別された粒子−パルス−エンベロープに適用され、大きさとスピードなどの粒子特性を測定する。 （もっと読む）

電離真空計において、平行化された電子ビームが計器構造のグリッド表面に当たるときに出射されるＸ線の影響を、羽板付ビーム止めにより低減した。この羽板付ビーム止めはＸ線を持たない影領域を形成し、これによりコレクタプレートに当たるＸ線の量を最小にし、残留電流のＸ線作用部分を減少させる。
（もっと読む）

プロセス間モードにおいて動作するよう形状が決められているプロセス監視の実行を含むマイクロエレクトロ製造プロセスをモニターする方法。
（もっと読む）

イオン源の陽極内部に適合するような取外し可能な陽極ライナー：陽極ヘ放出するような電子、ここで任意の絶縁堆積物が、陽極ライナーの内部に付着する、そのため、早期の取り替え又は取り除きをしないで効果的に使用可能年数を増大させること。
（もっと読む）