【課題】ＨＴＳテープを単一工程で連続的に生産する。
【解決手段】未研磨の金属テープを設け、研磨ステーションおよび水洗ステーションを各々が有する表面処理ユニットを複数個設け、未研磨の金属テープを表面処理ユニットの第１の研磨ステーションに連続的に供給し、金属テープを、連続する複数の表面処理ユニットの各々が、研磨材料と水とを有するスラリの研磨媒質であって研磨材料の粒径が下流側の研磨ステーションほど小さい研磨媒質を用いて、金属テープの表面をさらに研磨し、一連の表面処理ユニットに通し、研磨済みの金属テープを最後の表面処理ユニットから回収し、回収された金属テープの上に緩衝層を形成し、緩衝層の上に高温超伝導体膜を形成する。最後の表面処理ユニットは複数の研磨輪を有し、最後の表面処理ユニットにおけるスラリの研磨媒質中の研磨材料の粒径は０．０５μｍ以下である。 （もっと読む）