比較的拡散性ではない反射表面領域を有する表面をレーザマークする方法が提供される。この方法は比較的拡散性の反射領域を生成するために比較的拡散性ではない相対表面領域の選択されたマーキング領域をレーザ光で照射する処理を含んでいる。放射プロセスはマーキング領域を生成するために部分的にオーバーラップする領域を照射することを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】１０^６〜１０^９Ｗｃｍ^−２の範囲の放射照度と、１０〜５０ｋＨｚの範囲の繰返し率とを有するレーザを使用する硬質材料の加工処理装置及び加工処理方法
【解決手段】硬質材料の加工処理装置は、レーザフライス加工またはレーザ切削用途のために、スキャナ（２０）を用いて材料上を走査される高繰返し率の高放射照度レーザパルスを生成するレーザ（１０）を備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ装置
【解決手段】本発明は第１の実施形態において、２つのミラー（２１４、２１６）によって形成された光共鳴キャビティ（２００）に置かれた、ネオジム添加ＹＡＧ（Ｎｄ：ＹＡＧ）ゲイン媒体（２０２）を使用する。パワー抽出は特定のレーザキャビティで極大化される。具体的に、ロッド末端（２０４、２０６）の凹状湾曲は、熱レンズの強度を補正するため、負レンズ成分を与える。本発明は第２の実施形態において、本発明の第１の実施形態で説明されているレーザゲイン媒体及び／又は発振器から放射を集めるためレンズ素子として働く曲面末端（８０２、８０４）を有する、増幅器ロッド媒体（８００）を使用する。熱レンズと曲面ロッド末端の組み合わせによってレンズ効果が生じ、これによりレーザから直接的に光を結合できる。加えて、入力励起パワーの変化は増幅器ロッドの中に形成される熱レンズの制御を可能にする。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】極端紫外線リソグラフィー即ちＥＵＬにおいて高出力パルスレーザーを用いるためのレーザー多重化システム及び方法。第１の実施形態では、レーザー発生プラズマ生成のための高出力ＥＵＶレーザー多重化素子（２００）が、少なくとも２つのレーザービーム（２０８）を夫々共通のワークピース上の焦点（２０４）に収束させる少なくとも２つの収束素子（２１０）を備える複合レンズを有する。第２の実施形態では、レーザー多重化装置が、パルスレーザービームを生成するための少なくとも２つのパルスレーザーソースと、少なくとも２つのパルスレーザービーム（３００）を時間的に交互に配置する時間多重化要素（３０２）と、を有する。第３の実施形態では、レーザー多重化組体がビーム形成素子（４０１）を有し、ビーム形成要素は、第１のレーザービーム（４０６ａ）を、第２のレーザービーム（４０６ｂ）の軸と共通の軸に沿って、上記共通の軸を中心として配置されている共通の収束素子（４０５）へと向ける。 （もっと読む）