【課題】基板上の膜応力の問題を解決するための薄膜堆積方法を提供する。
【解決手段】光学部品のための薄膜堆積方法を用い、基板１０の両側の間の膜応力のバランスをとる。所定の層数から構成される薄膜層を基板１０の上側に堆積させ、かつ、同様の厚さを有する薄膜層を基板１０の下側に堆積させ、基板１０の両側の膜応力のバランスをとる。 （もっと読む）