【課題】 アルミニウムの性質を担保しつつ、アルミニウム表面の腐食を防止する技術の提供。
【解決手段】 水蒸気でアルミニウム表面を処理することにより該表面にアルミニウム酸化被膜を形成させる工程を含むことを特徴とするアルミニウム腐食防止方法。 （もっと読む）

【課題】 ウェハーの絶縁膜側壁の残渣物のみならず、ビア底部で非結晶化した反応副生成物及び残渣物やパーティクルを十分に除去でき、処理設備や薬液購入のかかるコストは従来と比較して大幅に低減し処理時間も短くできる対象物処理方法を提供する。
【解決手段】 複数のホール部を有する処理対象面を具備する対象物についての該処理対象面にかかる不要物を除去する対象物処理方法であって、アンモニア水と過酸化水素水とを含む混合溶液を前記処理対象面に接触させる薬液処理工程と、前記混合溶液を接触させた前記処理対象面に、加圧された蒸気または水の少なくとも一つを適用して前記不要物を除去する除去処理工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ウェハー等に吹き付け処理を行う対象物処理装置において、処理されるべき対象物の処理面全域にわたって均一な吹き付け処理ができるように、ノズルおよびステージの動作を精密にコントロールすること。
【解決手段】略円形平面の処理対象面を有する対象物に対して吹き付け処理を行うための対象物処理装置であって、対象物の処理対象面と対面するように、処理対象面の中心部と外周端部との間を移動しながら、処理対象面に吹き付けを行うノズル部と、対象物を載置して、処理対象面の中心を回転軸として、対象物と共に一体的に回転動作を行うステージ部とを備え、ノズル部の移動速度および移動軌跡を制御するノズル動作制御手段と、ステージの回転速度を制御するステージ動作制御手段とを備え、ノズルとステージとの動作によって形成される対象物上の吹き付けの軌跡が、処理対象面の中心を始点とする螺旋軌跡を形成し、且つ形成される螺旋軌跡の周速度とピッチ幅とが所定値となるように制御する軌跡制御手段を備える。 （もっと読む）