説明

アサイラム リサーチ コーポレーションにより出願された特許

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【課題】雑音を減少させ、感度を増大し、そして直線型可変差動トランス(LVDT)の時間応答を改良する変換器を提供する。
【解決手段】本装置は、従来型LVDTの一次コイルおよび高透磁率強磁性コアを、非強磁性可動コア14の周囲に巻いた一次巻線15で置き換える。バルクハウゼン雑音を軽減または除去することに加えて、このアプローチは、コアの過度の渦電流加熱、高透磁率材料と関連する非線形性、および磁束回路の長さスケールを含む、従来型LVDTの他の好ましくない効果を軽減または除去した。これらの改良は、改良型LVDTの信号調整回路に連結される。本装置はアクチュエータでもあり、それを用いて差動電圧を力に変換することができる。これらの改良点を伴う装置は、分子力測定、原子間力顕微鏡、および操作技術、リソグラフィ製造、ナノメータースケールの表面形状測定、およびナノテクノロジーの他の局面を含め、多くの用途を有する。 (もっと読む)


圧子の新規なタイプが説明される。この装置は、高分解能および別様に優れた押込み測定をもたらすために、原子間力顕微鏡法の幾つかの感知要素および構造的要素を、押込みプローブ、従来のダイヤモンド、および別様のものを使用するように設計されたモジュールばかりでなく、従来とは異なった設計とも組み合わせる。
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走査型プローブ顕微鏡内の振動を積極的に減衰させる技術が開示される。SPMの機械アセンブリにおいて、共振を含むさまざまな機械的移動が起きると、特に高速用途に対して悪い影響を及ぼす。この移動を補償すべくアクチュエータが用いられる。アクチュエータは、z方向にのみ動作しても、あるいは、他の方向に動作してもよい。アクチュエータは、アンチノードの位置に配置される。 (もっと読む)


【課題】 比較的短いデータ取得時間内で、限界寸法の高精度測定用に、試料表面の特定領域を選択的に画像化することである。
【解決手段】 測定器における走査速度を変更するシステムおよび技術を提供する。当該技術は、試料の関心領域の位置を示す情報を受信するステップと、前記試料の前記関心領域内において第1のデータ密度を得るように構成された第1の波形セグメントと、前記試料の前記関心領域外において第1のデータ密度より低い第2のデータ密度を得るように構成された第2の波形セグメントとを含む走査波形を生成するステップと、を備える。前記走査波形は、さらに、第3の異なるデータ密度を得るように構成された第3の波形セグメントを含んでもよい。 (もっと読む)


原子間力顕微鏡、分子力プローブ機器、高分解能プロファイルメータ、および化学的または生物学的検出プローブを含むカンチレバー型機器用のコントローラ。本コントローラは、これら機器におけるカンチレバーの撓みを検出するために広く用いられる光検出器の出力を、高速アナログ/デジタル変換器(ADC)により収集する。次いで、得られた出力信号のデジタル表現を、フィールドプログラマブルゲートアレイおよびデジタル信号プロセッサにより、アナログ電子回路を用いずに処理する。アナログ信号処理は本質的にノイズが多いが、デジタル計算は、計測信号にいかなるランダムノイズも加えることがないという点で、本質的に「完全」である。フィールドプログラマブルゲートアレイおよびデジタル信号処理による処理は、コントローラのハードウエアを修正しなくてもプログラム手段により変更できるので、コントローラのフレキシビリティが最大化される。
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