説明

アディクセン スカンディナビア エービーにより出願された特許

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本発明は、流体から気体分子を採取するためのガスプローブ(1)に関する。このプローブは、オリフィス(3)を持つハウジング(2)を有し、テストガスセンサ(4)と気体連通した状態に置かれるように適合されている。プローブは積層体(6)を備え、気体サンプル分子は、積層体内のすべての層を通過しなければ、センサに到達できない。積層体は、少なくとも第一の膜層(7a)、第一のスペーサ層(8a)、第一のフィルタ層(9a)および第二のスペーサ層(8b)を含む。ハウジングは、第二のスペーサ層の中にブロッキングガス分子を取り込むための吸気口(10)と第一のスペーサ層からブロッキングガス分子を放出するための排出口(11)とを有する。ガスプローブは、前記第二のスペーサ層に入るブロッキングガス流を制御するための制御ユニット(12)に連結可能である。
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【課題】寿命の向上と同時に水素ガスに対する初期感度を向上させた、改良された水素ガス感知半導体センサを提供する。
【解決手段】本発明は、触媒金属層(1)、半導体層(2)、および触媒金属層(1)と半導体層(2)との間に配置された絶縁層(3)を含む水素ガス感知半導体センサに関する。触媒金属層(1)には、外面(4)、および少なくとも1つの水素原子吸着表面部(8)を含む内面(7)が含まれる。各水素原子吸着表面部(8)は、絶縁層(3)に隣接して配置されている。外面(4)の表面面積は、少なくとも1つの水素原子吸着表面部(8)全ての全表面面積より少なくとも100%大きい。本発明はまた、センサを含むプローブ、センサを含む水素ガス検出システム、ならびにガスサンプルにおける水素ガスの存在の検出および/または濃度の測定のためのセンサの使用に関する。 (もっと読む)


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