【課題】ガスバリアフィルムに関し、バリア性の向上、製造の簡便と低コスト化を図る。
【解決手段】プラスティックフィルムの各主面に接するガスバリヤ層は触媒ＣＶＤによるＳｉＣＮＦＨ層で０．０１＜Ｉ（ＳｉＨ）／Ｉ（ＳｉＮ）＜０．０５、０．００＜Ｉ（ＣＨ）／Ｉ（ＳｉＮ）＜０．０７、０．０４＜Ｉ（ＮＨ）／Ｉ（ＳｉＮ）＜０．０８、および０．０５＜Ｉ（ＣＦ）／Ｉ（ＳｉＮ）＜０．３の条件、またはＳｉＯＣＮＨ層で０．１＜Ｉ（ＳｉＨ）／Ｉ（ＮＨ）＜０．９、０．０＜Ｉ（ＣＨ）／Ｉ（ＮＨ）＜０．３、８＜Ｉ（ＳｉＮ）／Ｉ（ＮＨ）＜２０、および２＜Ｉ（ＳｉＯ₂）／Ｉ（ＮＨ）＜８の条件、またはＳｉＣＮＨ層で０．０１＜Ｉ（ＳｉＨ）／Ｉ（ＳｉＮ）＜０．０５、０．００＜Ｉ（ＣＨ）／Ｉ（ＳｉＮ）＜０．０７、および０．０４＜Ｉ（ＮＨ）／Ｉ（ＳｉＮ）＜０．０８の条件を満たすガスバリアフィルム。 （もっと読む）

【課題】水蒸気や酸素の透過を防止して種々の物品を保護し得るガスバリヤフィルムを簡便かつ効率的に低コストで提供する。
【解決手段】 ガスバリヤフィルムは、プラスティックフィルム（１）の一方の主面上に順に積層された第１、第２、および第３の有機・無機ハイブリッド層（２、３、４）を含み、これらのいずれの有機・無機ハイブリッド層も意図的に導入された炭素シリコン窒素および水素を含み、第１と第３の有機・無機ハイブリッド層（２、４）は第２の有機・無機ハイブリッド層（３）に比べて大きな炭素組成比を有し、第２の有機・無機ハイブリッド層（３）においては第１と第３の有機・無機ハイブリッド（２、４）に比べてシリコンと窒素の合計組成比が大きく設定されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】長期にわたって安定なテラヘルツ波を所望の周期で発生することのできるテラヘルツ波変調装置を実現する。
【解決手段】多重量子井戸構造（ＭＱＷ）で構成されるテラヘルツ波発生素子（１）に対し、量子数の異なるサブバンドの励起子（Ｅ２ＨＨ１，Ｅ２ＨＨ２）を同時に励起する超短光パルスを光照射回路（２）により照射する。この超短パルス照射と同期して電圧パルス印加回路（１０）から、量子井戸の励起子振動のエネルギ差ΔＥが、コヒーレント縦光学フォノンの振動エネルギ（ＥＬＯ）と等しくなるように、サブバンドの正孔エネルギ準位（ＨＨ１，ＨＨ２）を調整する。この電圧パルス印加回路１０からのパルス列により、テラヘルツ波発生素子（１）のテラヘルツ波発生周期を変調する。 （もっと読む）

【課題】多様な被処理体に対して多様な膜を形成することのできる触媒ＣＶＤ装置を提供する。
【解決手段】加熱した触媒体１０を用いる触媒ＣＶＤ処理が基板ホルダー１８上の基板５に対して行なわれるときは、（ａ）に示すように、プラズマ生成手段３１を備えたプラズマ生成ユニット３０は真空収納室１２に退避している。プラズマ生成手段３１は、高周波電源２５に接続された高周波電極３３と接地電極３４とを備える。高周波電極３３の上側には接地されたシールド板３２が取り付けられている。プラズマ生成手段３１だけを用いるプラズマＣＶＤ処理あるいは加熱した触媒体１０とプラズマ生成手段３１とを併用するプラズマエンハンスト触媒ＣＶＤ処理が行われるときは、（ｂ）に示すように、プラズマ生成手段３１が触媒体１０と基板５との間に位置する。上記の３つのＣＶＤ処理は、基板５の材質や成膜する膜種に応じて使い分けられる。 （もっと読む）

【課題】 低コストで簡便に製造できかつ種々の用途に使用し得る光波長変換膜とそれを含む照明装置を提供する。
【解決手段】 受けた光の波長を異なる波長の光に変換して放射する光波長変換膜であって、その光波長変換膜はＳｉ系有機・無機ハイブリッド膜を含み、そのＳｉ系有機・無機ハイブリッド膜はその化学的骨格構造に少なくとも炭素とシリコンとを含んでおり、そのＳｉ系有機・無機ハイブリッド膜は可視光に比べて短い波長を含む第１の光を受けてその第１の光を可視光範囲内の波長を含む第２の光に変換して放射する。なお、Ｓｉ系有機・無機ハイブリッド膜の化学的骨格構造は、酸素と窒素の少なくとも一方をさらに含むことができる。 （もっと読む）