ガラス基板（４１０）、ガラス基板に接合された単結晶シリコン層（４０２）、及び単結晶シリコン層の表面に形成された熱的に調整可能な薄膜光フィルタ（４２０）がある光デバイス。
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サンプル領域における化学物質を検出するための光センサには、光を生成し、その光がサンプル領域を通過するように導くための放射体が含まれる。また、センサには、光がサンプル領域を通過した後、光を受光し、検出器が受光する光に対応する信号を生成するための検出器が含まれる。更に、センサには、放射体と検出器との間に配置された熱光学フィルタが含まれる。光学フィルタは、放射体からの光のフィルタ処理を選択的に行うための調整可能な通過帯域を有する。光学フィルタの通過帯域は、光学フィルタの温度を変更することによって調整可能である。また、センサには、光学フィルタの通過帯域を制御し、検出器からの検出信号を受信するためのコントローラが含まれる。コントローラは、光学フィルタの通過帯域を変調し、検出信号を分析して化学物質の吸収ピークが存在するかどうかを判定する。
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