【目的】本発明は、円板の一部を切り欠いて切り欠いた部分に微小な試料を接着して試料を観察するための試料支持板に関し、円板の一部を切り欠いた試料支持板に接着した試料をエッチングで極表層を除去して綺麗な面にすると共に試料支持板に付着した物質あるいは試料支持板自身が当該エッチングで試料へ再付着あるいは付着することを無くすことを目的とする。
【構成】 円板の一部を切り欠いた中央の試料を接着する部分の周囲を凹状に切り欠き、試料の極表層を除去するエッチング時の試料への再付着あるいは円板の物質の試料への付着を防止する形状としたことを特徴とする試料支持板である。 （もっと読む）