【課題】第１のモジュールを利用して該ウェーハわく貯蔵ボックスを貯蔵することにより、該ウェーハわく貯蔵ボックスのアクセスをより迅速且つ確実にできるようにすることにある。
【解決手段】本発明は、ウェーハわく貯蔵ボックス２１の貯蔵に使用される貯蔵キャビネット装置に関し、貯蔵キャビネット本体２２と、該貯蔵キャビネット本体２２内に取り付けられ、該ウェーハわく貯蔵ボックス２１を貯蔵する第１のモジュール２３と、該貯蔵キャビネット本体２２内に取り付けられ、該第１のモジュール２３を制御して該ウェーハわく貯蔵ボックス２１の使用情報を表示する制御キャビネット２４と、を備える貯蔵キャビネット装置２０である。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの運搬過程中、ウェーハが受ける衝撃力を低下させることにより、効果的にウェーハの破損率を低下させ、製造コストを下げるウェーハの骨組貯蔵ボックスを提供する。
【解決手段】本発明により提供されるウェーハの骨組貯蔵ボックスは、ウェーハを収容するものであって、収容空間２２を有する本体２１と、該収容空間２２の底面に形成され、これにより該本体２１の強度を補強する複数の突起部２３と、該収容空間２２の底面上に設置される複数の防震素子２４と、該本体２１に結合されるカバー２６とを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】 第１および第２の係合素子を利用して第１および第２のボックス体を係着することにより、ＦＯＳＢ用ストレージ・ボックスに閉合空間を形成する。
【解決手段】 ＦＯＳＢ３０の貯蔵に応用されるＦＯＳＢ用ストレージ・ボックス２０は、ＦＯＳＢ３０の第１の部分３１を有する第１のボックス体４１と、第１のボックス体４１上に取り付けられた第１の係合素子と、ＦＯＳＢの第２の部分が収容され、そして第１のボックス体４１と共同して閉合空間を形成してＦＯＳＢを収容する第２のボックス体５１と、第２のボックス体５１上に設けられると共に、第１の係合素子と係合して、ＦＯＳＢを閉合空間に固定するように第１の係合機構を形成する第２の係合素子とを備えている。 （もっと読む）