【課題】 マスクに付着した有機ＥＬ用の有機材料を除去することが可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】 本発明の洗浄装置は、マスク１０を所定の洗浄液により室温で洗浄処理する第１及び第２の洗浄槽２１，２２と、マスク１０を所定のリンス液により室温でリンス処理する第１及び第２のリンス槽５１，５２と、重力を起因とする応力によってマスク１０の金属薄膜に損傷を生じさせないように、水平以外の所定の角度を以って当該マスク１０を保持し、当該所定の角度を以って保持された当該マスク１０を第１及び第２の洗浄槽２１，２２及び第１及び第２のリンス槽５１，５２へ搬送する搬送装置２４０と、を備える。ここで、搬送装置２４０は、最初に水平な状態でマスク１０を保持した後、当該マスク１０を保持したまま、垂直方向に起き上がり、上記所定の角度を以って当該マスク１０を保持する。 （もっと読む）

【課題】 マスクに付着した有機ＥＬ用の有機材料を除去することが可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】 本発明の洗浄装置は、マスク１０を所定の洗浄液により洗浄処理する第１及び第２の洗浄槽２１，２２と、当該洗浄槽２１，２２の洗浄液を真空蒸留する真空蒸留器３０と、真空蒸留された洗浄液を室温に冷却する第１の冷却器３１と、第１の冷却器３１により冷却された洗浄液を第２の洗浄槽２２に還流させる第１の還流管１０１と、マスク１０を所定のリンス液によりリンス処理する第１及び第２のリンス槽５１，５２と、当該リンス槽５１，５２のリンス液を常圧下で蒸留する常圧蒸留器６０と、常圧蒸留されたリンス液を室温に冷却する第２の冷却器６１と、第２の冷却器６１により冷却されたリンス液を第２のリンス槽５２に還流させる第２の還流管１０２と、を備える。 （もっと読む）