【課題】励磁コイル内でＭＩ素子に生じる出力電圧特異値を信号処理することにより、非磁性導体からなる対象物の位置、変位、ずれ、距離、厚さ、面ぶれ、振動表面の凹凸、回転数、速度、等を高感度検出できるセンサを提供する。
【解決手段】 非磁性導体対象物の検出センサであって、該非磁性導体対象物が励磁コイルと磁気的に相互作用のない距離に離した場合および該非磁性導体対象物と励磁コイルが近接している場合、励磁コイル内及び励磁コイルの周縁外部のＭＩセンサの出力値に現れる最小値および最大値、および最大値から最小値への過渡曲線の任意の位置近辺で励磁コイルとＭＩセンサを固定してそれぞれ目的に合った高感度センサの提供を可能とする。 （もっと読む）