【課題】微小な回転工具の刃先位置を、ＸＹＺ軸の３方向について高分解能かつ高精度に検出可能な工具位置測定装置を提供する。
【解決手段】回転工具１２の刃先１２ａにＺ軸方向の光を入射させ、その反射光を受光する第一光学装置２２を備える。刃先１２ａをＺ軸方向から見た底刃画像を撮像する第一撮像装置２４と、底刃画像を基に、回転工具１２の位置を測定する処理装置を備える。第一光学装置２２は、Ｘ軸方向に照射光を発する第一光源３０を有する。照射光をＺ軸方向に偏向して刃先１２ａに入射させ、刃先１２ａからの反射光を逆向きのＸ軸方向に偏向する第一偏向ミラー３８を有する。刃先１２ａと第一偏向ミラー３８との間に、入射光及び反射光が通過する第一対物レンズ２０を有する。第一撮像装置２４は、第一偏向ミラー３８によって偏向された刃先１２ａからの反射光による底刃画像を撮像する。 （もっと読む）