液体中の不純物を分析するための装置及び方法が提供される。この装置は、光源１０２に結合されたセル２０４と検出器１１４とを備えている。セル２０４は、該セル２０４の第１の端部に配置され、光を受け取って該セル２０４の長手方向の軸に沿って該セル２０４内に導入する第１の鏡１０８を備えるとともに、該セル２０４の第２の端部に配置され、上記光を少なくとも部分的に反射させる第２の鏡１１０を備えている。液体供給装置２１０は、第１の鏡１０８と第２の鏡１１０との間で、セル２０４の長手方向の軸と交差するように、液体の流れ２０８を投与する。検出器１１４がセル２０４の第２の端部に結合され、液体を透過する光に基づいて、セル２０４内の光の減衰率を決定する。

（もっと読む）

気体中の不純物を分析するための装置及び方法が提供される。この装置は、不純物を含む第１の気体を収容している第１セル２０８と、不純物を含まない第２の気体を収容している第２セル２１０とを備えている。第１セル２０８には第１の光ビーム２０１ａが結合され、第２セル２１０には第２の光ビーム２０１ｂが結合されている。第１セル２０８の出力部には第１検出器２１４が結合され、この第１検出器２１４は、第１セル２０８内における第１光ビームの第１の減衰率に基づいて第１信号を生成する。第２セル２１０の出力部には第２検出器２１６が結合され、この第２検出器２１６は、第２セル２１０内における第２光ビームの第２の減衰率に基づいて第２信号を生成する。第１の減衰率と第２の減衰率との差に基づいて不純物の濃度が決定される。

（もっと読む）