本発明は、新規のバルク弾性波（ＢＡＷ）共振器設計及びこれを製造する方法に関する。バルク弾性波共振器は共振器部分を備え、共振器部分には、共振器部分に連続閉路を形成するトレンチの形態を有する少なくとも１つの空隙が設けられる。共振器部分の外形寸法と同じ加工ステップで空隙を作製することにより、共振器の共振周波数に対するプロセスばらつきの影響を減らすことができる。本発明により、ＢＡＷ共振器の精度を高めることができる。 （もっと読む）

本発明は、加速度を測定するのに用いる測定装置、より詳細には、容量型加速度センサーに関する。本発明による容量型加速度センサーは、回転軸（７）に支持された、加速度センサーの可動電極（５）を有する。複数の電極対が、本発明による加速度センサーに使用されている。本発明による加速度センサー構造により、対称という利点が達成され、また信頼度の高い効率的な加速度の測定が、特に小さな容量型加速度センサー設計において、可能となる。
（もっと読む）

本発明は、加速度の測定に用いる測定装置、より詳細には、容量型加速度センサーに関する。本発明による容量型加速度センサーは、回転軸（７）で支持された可動電極（５）を有する。本発明による加速度センサーの電極対におけるキャパシタンス変化は、強められている。本発明による加速度センサー構造により、回転運動に基づいた電極対のキャパシタンス感度を改善でき、また容量型加速度センサー設計において優れた性能で加速度を測定することができる。
（もっと読む）