【課題】この発明の目的は、画像処理を用いないで照射光の影響を受けないで済み、しかも被検査物に余分な負荷をかけないで正確な平坦度の測定ができるようにした端子の平坦度測定方法を提供することにある。
【解決手段】ワーク台に搭載した、側面に多数の金属端子を設けた非検査物における金属端子の平坦度を測定するに当たり、
金属端子と同数のスイッチング機能を備えたコンタクトプローブを、駆動機構により金属端子に向けて前進させ、
コンタクトプローブを金属端子に接触させてそのスイッチング機能を作動させ、
基準面から金属端子にコンタクトプローブが接触してスイッチング機能が作動した位置までの距離を測定するようにしたことを特徴とする端子の平坦度測定方法。 （もっと読む）