【課題】従来の導電性無機酸化物粉と比べ、より微粒で且つ良好な粉体抵抗を備える導電性無機酸化物粉を原料として用い、組成が均一で平滑な表面を備えるスパッタリングターゲットの提供を目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため、アルミニウム、ガリウム及びインジウムから選択される１種又は２種以上の成分を酸化物換算で０．１ｗｔ％〜２０．０ｗｔ％ドーピングして導電性を付与した、平均１次粒子径が３ｎｍ〜４０ｎｍの導電性無機酸化物粉を成形して焼結したスパッタリングターゲットとする。この導電性無機酸化物粉は、平均１次粒子径が１ｎｍ〜３０ｎｍの無機酸化物粉含有スラリーにアルミニウム、ガリウム及びインジウムから選択される１種又は２種以上の成分を含有させた状態で電解する電解ドーピング法で製造する。 （もっと読む）

【課題】焼成時にβ型の窒化珪素を成長させることができ、しかも、焼成後の焼結体中の窒化珪素の殆どをβ型の窒化珪素とすることで、高い強度と耐熱衝撃性を付与することができる窒化珪素系焼結体の製造方法及び同方法により製造した窒化珪素系焼結体を提供する。
【解決手段】β型窒化珪素結晶を含む窒化珪素を焼結助剤と混合して焼成する窒化珪素系焼結体の製造方法において、前記焼結助剤は、希土類酸化物と、酸化マグネシウムと、二酸化珪素とを溶融させると共に、窒素が過飽和状態となるように窒化物を溶融させたオキシナイトライドガラスとしていることとした。 （もっと読む）

【課題】超精密機器に用いる部品として要求されるヤング率を満たすコーディエライト材及び同コーディエライト材の製造方法を提供する。
【解決手段】SiO₂とAl₂O₃とMgOと窒化物とを溶融させた後、冷却に伴って非晶質化すると共に、所定温度に保持してα−コーディエライト質結晶相を析出させることによって、高硬度、高ヤング率を有するコーディエライト材を提供することができる。 （もっと読む）