【課題】本発明は、接着剤を用いずに筒状スポンジ部材を支軸に取付け固定して、洗浄液に対する影響を無くし、高純度で高品質の基板洗浄を可能としたスポンジローラーブラシを提供する。
【解決手段】被洗浄体と中心軸を平行にして回転駆動され、洗浄液が供給される被洗浄体に摺接して、被洗浄体を洗浄するスポンジローラーブラシであり、断面円形状をなし軸方向に所定長さを有する剛体からなる支軸１０と、内径を強制的に拡大するよう弾性変形した状態で支軸の外周面に嵌め合わされ、それ自体の弾性力によって支軸外周面に圧着固定する筒状スポンジ部材１１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、接着剤を用いずにスポンジブラシ部をホルダもしくはシャフトに取付け固定して、接着剤による影響を無くし、高純度で高精度の洗浄を可能としたスポンジブラシ洗浄具を提供する。
【解決手段】フランジ部３にボス部４を一体に連設してなるホルダ１と、このホルダのフランジ部に取付けられるスポンジブラシ部２とを備えたディスクブラシ状のスポンジブラシ洗浄具Ｓａにおいて、上記ホルダを構成するフランジ部に、埋設部材５である複数本のハンドルバー８が溶接等の、接着を除く手段で取付け固定され、上記ハンドルバーはスポンジブラシ部内に埋設される。 （もっと読む）