スポンジローラーブラシ
【課題】本発明は、接着剤を用いずに筒状スポンジ部材を支軸に取付け固定して、洗浄液に対する影響を無くし、高純度で高品質の基板洗浄を可能としたスポンジローラーブラシを提供する。
【解決手段】被洗浄体と中心軸を平行にして回転駆動され、洗浄液が供給される被洗浄体に摺接して、被洗浄体を洗浄するスポンジローラーブラシであり、断面円形状をなし軸方向に所定長さを有する剛体からなる支軸１０と、内径を強制的に拡大するよう弾性変形した状態で支軸の外周面に嵌め合わされ、それ自体の弾性力によって支軸外周面に圧着固定する筒状スポンジ部材１１とを具備する。
【解決手段】被洗浄体と中心軸を平行にして回転駆動され、洗浄液が供給される被洗浄体に摺接して、被洗浄体を洗浄するスポンジローラーブラシであり、断面円形状をなし軸方向に所定長さを有する剛体からなる支軸１０と、内径を強制的に拡大するよう弾性変形した状態で支軸の外周面に嵌め合わされ、それ自体の弾性力によって支軸外周面に圧着固定する筒状スポンジ部材１１とを具備する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被洗浄体として、たとえば平面型表示装置を構成するガラス基板や半導体ウエハを洗浄する基板洗浄装置に用いられるスポンジローラーブラシに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ブラウン管（ＣＲＴ）に代って、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）や、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）が大量に供給されている。このような平面型表示装置を構成するガラス基板や半導体ウエハ（以下、総称して「基板」と呼ぶ）の製造工程において、種々の原因から基板の表面に汚れが発生することがある。
【０００３】
一般に、数μｍ程度の大きさの異物をパーティクルと呼んでいて、このパーティクルが基板表面に付着することによる汚れである。そのため、それぞれの工程で回路パターンを形成する際には、基板表面にパーティクルが付着しない清浄な状態となるよう、基板を洗浄する。
【０００４】
基板洗浄装置において、基板を１枚ずつ洗浄する枚葉洗浄方式では、ディスク状もしくはロール状のブラシが用いられ、ブラシを基板に摺接させ、基板を物理的に“こする“ことで洗浄を行っている。たとえば、［特許文献１］には、平板印刷版処理装置に用いられるものであるが、ブラシロールが記載されている。
【０００５】
しかるに、基板の主面上には種々の被膜、たとえばＩＴＯやＣｒなどの金属膜や、カラーフィルタ用の有機膜などの柔らかい膜が形成されている。これらの柔らかい被膜面をブラシロールが“こする”ことにより、傷付くことがある。
【０００６】
【特許文献１】特開平６−１４８９００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、柔らかい被膜面を洗浄対象とする場合は、剛体である支軸に、弾性を有する筒状スポンジ部材を取付けた、スポンジローラーブラシが多用される傾向にある。上記スポンジの素材としては、たとえばＰＶＡ（ポリビニールアミール）や、ＰＶＦ（ポリビニールフェミニン）等の高分子合成樹脂材、あるいはポリウレタンが用いられる。
【０００８】
この種のスポンジローラーブラシを製造するにあたって、予め支軸の外周面に接着剤を塗布する。そして、支軸外周面に筒状スポンジ部材の内径部を挿入し、位置決めをなして仮固定し所定時間放置すれば、筒状スポンジ部材を支軸に接着固定できる。接着剤は、筒状スポンジ部材を支軸に確実に取付けるために、充分な量が塗布される。
【０００９】
通常は、筒状スポンジ部材の側端部から接着剤がはみ出た状態となることが多く、接着剤は洗浄液（薬品）によって濡れ易い。条件によっては、接着剤を構成する成分が洗浄液に溶出し、洗浄液の組成を変えてしまう。
さらに、洗浄中は洗浄液が筒状スポンジ部材全体に含浸して最深部まで浸透し、支軸に塗布される接着剤を濡らす。たとえ接着剤が筒状スポンジ部材からはみ出ないとしても、結局は、洗浄液は接着剤に接触することとなり、接着剤が洗浄液に溶出する現象を防止できない。
【００１０】
本発明は上記事情にもとづきなされたものであり、その目的とするところは、接着剤を用いずに筒状スポンジ部材を支軸に取付け固定して、洗浄液に対する影響を無くし、高純度で高品質の基板洗浄を可能としたスポンジローラーブラシを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を満足するため本発明は、被洗浄体と中心軸を平行にして回転駆動され、洗浄液が供給される被洗浄体に摺接して、被洗浄体を洗浄するスポンジローラーブラシであり、断面円形状をなし軸方向に所定長さを有する剛体からなる支軸と、内径を強制的に拡大するよう弾性変形した状態で支軸の外周面に嵌め合わされ、それ自体の弾性力によって支軸外周面に圧着固定する筒状スポンジ部材とを具備する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、接着剤を用いずにスポンジ部材を支軸に取付け固定して、接着剤による影響をなくし、高純度で高品質の洗浄をなすという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を、図面にもとづいて説明する。
図１（Ａ）は第１の実施の形態でのスポンジローラーブラシＲ１の透視した斜視図、図１（Ｂ）は同スポンジローラーブラシＲ１の製造工程を説明する図、図１（Ｃ）は完成した同スポンジローラーブラシＲ１の側面図である。
【００１４】
図１（Ａ）に示すようにスポンジローラーブラシＲ１は、中空筒体（中実であってもよい）からなり、剛体である支軸１０と、この支軸１０外周面に圧着固定される、弾性を有する筒状スポンジ部材１１とから構成される。
【００１５】
筒状スポンジ部材１１の両側端面から支軸１０の両端部が突出するよう、支軸１０の軸方向全長に対して筒状スポンジ部材１１の軸方向全長は短く形成される。支軸１０の筒状スポンジ部材１１から突出する両端部は駆動部に支持され、スポンジローラーブラシＲ１は被洗浄体である基板と中心軸を平行にして回転駆動されるようになっている。
【００１６】
上記筒状スポンジ部材１１の素材は、従来と同様、ＰＶＡや、ＰＶＦ等の高分子合成樹脂材、あるいはポリウレタンが用いられる。上記支軸１０は、ＰＶＣやＡＢＳ等の接着剤を使用できる合成樹脂材や、ＵＰＥ（超高分子ポリエチレン）、ＰＥ、もしくはＰＰ等の接着剤を使用できない合成樹脂材を用いることができる。
【００１７】
従来、支軸に筒状スポンジ部材を取付けるのに接着剤を用いていたため、支軸の素材はＰＶＣやＡＢＳ等に限定されていたが、ここでは後述するように、接着剤を用いることなく支軸１０に筒状スポンジ部材１１を取付け固定するので、接着剤を使用できる合成樹脂材ばかりでなく、接着剤を使用できない合成樹脂材からも幅広く選択できる。
【００１８】
また、これら合成樹脂材からなる支軸１０を備えたスポンジローラーブラシＲ１は、金属反応を起すことが判明している洗浄液を用いる基板洗浄装置に使用される場合がある。洗浄液が金属反応を起すと、洗浄対象物である液晶ガラス基板に形成される被膜等に悪影響を及ぼす。
【００１９】
金属反応を起さないことが判明している洗浄液を用いる、基板洗浄装置に使用される場合もある。この条件では、スポンジローラーブラシＲ１の支軸１０はステンレス鋼（ＳＵＳ）材が用いられ、完成したスポンジローラーブラシＲ１を基板洗浄装置に取付けるのに、ステンレス製のフランジやビス、ねじ類が用いられる。
【００２０】
図１（Ｂ）に示すように、支軸１０の一方の側端部には、この端面から外周面に亘って断面直径が漸次大となるテーパーガイド部１０ａが設けられる。上記テーパーガイド部１０ａは、パイプ状をなす支軸１０の内径部から外周面にかけて斜めに切欠加工される。
上記筒状スポンジ部材１１は、図１（Ｂ）に破線で示し、図１（Ｃ）に二点鎖線で示すように、支軸１０に嵌め込まれる以前の状態として、この内径は支軸１０の直径（外径）よりも小さく形成されている。
【００２１】
上記筒状スポンジ部材１１を支軸１０外周面に取付け固定してスポンジローラーブラシＲ１を製造するには、以下の方法による。
支軸１０のテーパーガイド部１０ａに、上記筒状スポンジ部材１１の一方の側端部に開口する開口部を当てる。このとき、支軸１０の軸芯と筒状スポンジ部材１１の軸芯を正しく合わせる必要がある。
【００２２】
そして、筒状スポンジ部材１１の上記側端部を支軸１０の軸方向に沿って強制的に押し込む。テーパーガイド部１０ａに対して筒状スポンジ部材１１の開口部が滑り、この内径が強制的に弾性変形され拡大する。さらに筒状スポンジ部材１１を押し込むことで、この側端部はテーパーガイド部１０ａから筒状スポンジ部材１１外周面へ移動する。
【００２３】
筒状スポンジ部材１１の押し込みを継続し、側端部を支軸１０の端部外周面から軸方向に沿って強制的に移動する。ついには、図１（Ａ）に示すように、筒状スポンジ部材１１は支軸１０外周面の略全長に亘って被う。筒状スポンジ部材１１は、それ自体の弾性力で支軸１０外周面に圧着固定し、スポンジローラーブラシＲ１が完成する。
【００２４】
特に、スポンジローラーブラシＲ１における外径精度が要求される仕様においては、スポンジローラーブラシＲ１の周面を研磨加工して仕様に合わせる。
結局、接着剤を何ら用いることなく、支軸１０に筒状スポンジ部材１１を確実に取付け固定できる。完成したスポンジローラーブラシＲ１を基板洗浄装置に取付けて基板洗浄作用をなしても、洗浄液に対し何らの影響も与えずに、高純度で高品質の洗浄が行われる。
【００２５】
なお、筒状スポンジ部材１１の支軸１０に対する嵌め合いの最適な設定は、以下の通りである。
たとえば、支軸１０の外径がφ５０ｍｍである場合は、筒状スポンジ部材１１の内径がφ４５ｍｍのものを用いる。スポンジローラーブラシＲとして完成した状態で、筒状スポンジローラーブラシＲは支軸１０に対して最適状態で圧着固定する。
【００２６】
支軸１０外径と筒状スポンジ部材１１内径との差に対する支軸１０外径の割合を、「嵌め合い率」と呼ぶとすると、上記した支軸１０外径がφ５０ｍｍ、筒状スポンジ部材１１内径がφ４５ｍｍでの嵌め合い率は、「１０％」となる。支軸１０の外径の大小に応じて筒状スポンジ部材１１の内径を調整し、嵌め合い率を適宜選択する必要がある。
【００２７】
支軸１０外径が小径のものは、嵌め合い率を３〜１０％の範囲で調整する。支軸１０外径がφ７５〜１００ｍｍ程度の大径の場合は、嵌め合い率を１０〜２０％程度とする。このように支軸１０直径が大になるにしたがって、嵌め合い率も大になる。
また、スポンジローラーブラシＲ１として、実際に洗浄作用をなす筒状スポンジ部材１１は、被洗浄体である基板に応じて、硬度を上げる場合と、硬度を下げる場合がある。筒状スポンジ部材１１の硬度を上げるには嵌め合い率を大に設定し、硬度を下げるには嵌め合い率を小に設定する。
【００２８】
筒状スポンジ部材１１の内径と、スポンジローラーブラシＲ１として完成した状態での筒状スポンジ部材１１の硬度との関係は、基板を洗浄する際において筒状スポンジ部材１１が受ける“圧力”と関連がある。
基板の洗浄時に、筒状スポンジ部材１１に強い圧力が加わる場合は、嵌め合い率を大きく設定して硬度を上げる。筒状スポンジ部材１１に弱い圧力のみが加わる場合は、嵌め合い率を小さく設定して硬度を下げる。全て、被洗浄体に対する洗浄状況に応じて適宜調整する必要がある。
【００２９】
図２（Ａ）は、第２の実施の形態に係るスポンジローラーブラシＲ２の透視斜視図、図２（Ｂ）はスポンジローラーブラシＲ２を構成する支軸１０の断面図である。
図２（Ａ）に示すように、このスポンジローラーブラシＲ２は、支軸１０と、支軸１０の外周面に圧着固定される筒状スポンジ部材１１とから構成される。支軸１０と筒状スポンジ部材１１の構成は、先に説明したものと全く同一であり、ここでは新たな説明は省略する。
【００３０】
上記支軸１０の外周面に沿って互いに所定間隔を存するとともに、それぞれが支軸１０の軸方向に亘って複数（８本）の回り止め用突条１２が設けられる。たとえば、支軸１０の外径がφ５０ｍｍである場合、回り止め用突条１２の断面寸法は、縦横５ｍｍのものを用いるとよい。
【００３１】
回り止め用突条１２の全長は筒状スポンジ部材１１の全長（軸方向長さ）よりも小さく形成される。したがって、後述するように支軸１０に筒状スポンジ部材１１が嵌め込まれた状態で、上記回り止め用突条１２は筒状スポンジ部材１１で覆われ、この端面から突出することはない。
【００３２】
上記支軸１０が合成樹脂材で形成される場合は、回り止め用突条１２を支軸１０と一体に成形する。もしくは、支軸１０が合成樹脂材のうちで特にＰＶＣ材が選択された場合は、ＰＶＣ材からなる回り止め用突条１２を支軸１０とは別個に製作し、追って部分溶接等の手段で固着する。
上記支軸１０がステンレス鋼材で形成される場合は、同一素材からなる回り止め用突条１２を支軸１０とは別個に製作し、追って支軸１０および回り止め用突条１２と同一素材で成形されるビスなどの固定具を用いて取付け固定する。
【００３３】
このように、支軸１０の素材として合成樹脂材もしくはステンレス鋼材のいずれかを選択しても、回り止め用突条１２を支軸１０に対して取付け固定するにあたって、接着剤を使用しないことは、勿論である。
図３は、回り止め用突条１２を備えた支軸１０に、筒状スポンジ部材１１を嵌め合せる工程の一部を示す斜視図である。
【００３４】
支軸１０における図示しない一方の側端部には、上記テーパーガイド部１０ａが設けられている。筒状スポンジ部材１１内径は支軸１０外径よりも小さく、筒状スポンジ部材１１の一端開口部をテーパーガイド部１０ａに当てて、強制的に押し込む。筒状スポンジ部材１１の内径は弾性変形して拡大し、この端部は支軸１０外周面に嵌め込まれる。
【００３５】
さらに筒状スポンジ部材１１を支軸１０の軸方向に沿って強制的に押し込むと、図３に示すように回り止め用突条１２が筒状スポンジ部材１１に嵌め込まれる。筒状スポンジ部材１１に対する作用を継続すれば、ついには再び図２（Ａ）に示すように、筒状スポンジ部材１１が、それ自体の弾性力で支軸１０外周面に圧着固定する。
【００３６】
筒状スポンジ部材１１は所定の肉厚と硬度があり、回り止め用突条１２を嵌め込んでいながら外周面は真円状をなす。換言すれば、回り止め用突条１２を備えた支軸１０に筒状スポンジ部材１１を嵌め合せても、筒状スポンジ部材１１の真円度が損なわれないよう、回り止め用突条１２の断面寸法が設定され、筒状スポンジ部材１１の硬度が選択される。
【００３７】
筒状スポンジ部材１１の真円度が確保されているから、実際に基板洗浄をなすにあたって、筒状スポンジ部材１１の基板に対する接触圧は全周に亘って均等であり、よって高純度で高品質の洗浄が行われる。
支軸１０周面に複数の回り止め用突条１２を設けたから、たとえ基板に対する接触圧を高めた洗浄を行っても、筒状スポンジ部材１１が支軸１０の周方向に位置ずれするようなことがなく、より高純度で高品質の洗浄が行われる。
【００３８】
図４（Ａ）は異なる構造の回り止め用突条１２Ａを備えた支軸１０の一部斜視図、図４（Ｂ）は支軸１０の断面図である。
回り止め用突条１２Ａの本数、全長、および支軸１０に対する取付け構造は、先に説明したものと同一でよい。ここで回り止め用突条１２Ａの突出側の先端が三角状に形成され、支軸１０の軸方向に対して略螺旋状に捩った状態で取付けられる。
【００３９】
上記支軸１０が合成樹脂材で成形される場合は、これら回り止め用突条１２Ａは、支軸１０外周面に一体に成形される、もしくは、同一素材で製作されたあと、部分溶接など、接着剤や金属製固定具を用いることない手段で取付け固定される。
支軸１０がステンレス鋼材で成形される場合は、回り止め用突条１２Ａもステンレス鋼材で成形され、ステンレス製の固定具で取付け固定される。この場合も、回り止め用突条１２Ａは接着剤を用いることはない手段で取付け固定される。
【００４０】
回り止め用突条１２Ａが支軸１０に略螺旋状に捩って取付けられているので、筒状スポンジ部材１１を支軸１０に対して捩りながら嵌め込む。したがって、筒状スポンジ部材１１を支軸１０外周面に円滑に取付けられるとともに、回り止め用突条１２Ａの三角状先端が筒状スポンジ部材１１の内周面に食い込む。
実際に洗浄作用を行っている状態で、スポンジローラーブラシＲが軸方向とは直交する周方向に圧力を受けても、上記回り止め用突条１２Ａを備えたことで、筒状スポンジ部材１１の位置ずれがなく、より高純度で、より高精度の洗浄が可能となる。
【００４１】
図５（Ａ）は、さらに異なる構造の回り止め用突条１２Ｂを備えた支軸１０の一部斜視図、図５（Ｂ）は支軸１０の断面図である。
回り止め用突条１２Ｂは、支軸１０の外周面に沿って互いに所定間隔を存するとともに、それぞれが支軸１０の軸方向に亘って複数本設けられる。そして、各回り止め用突条１２Ｂは、支軸１０の軸方向に複数に分割されていて、分割部分は間隙を存して取付けられる。
【００４２】
上記支軸１０が合成樹脂材で成形される場合は、これら回り止め用突条１２Ｂは支軸１０周面に一体に成形される、もしくは、同一素材で支軸１０とは別個に製作されたあと、部分溶接など、接着剤や金属製固定具を用いることない手段で取付け固定される。
支軸１０がステンレス鋼材で成形される場合は、回り止め用突条１２Ｂはステンレス鋼材で成形され、ステンレス製の固定具（ビス類）で取付け固定される。この場合も、接着剤を用いることのない手段で取付け固定される。
【００４３】
以上説明した回り止め用突条１２，１２Ａ，１２Ｂを備えた支軸１０は、一方の側端部にテーパーガイド部１０ａが設けられるが、これら回り止め用突条自体にも筒状スポンジ部材１１の嵌め合い時の作業効率の向上化を得る手段が備えられる。
図６は、支軸１０に筒状スポンジ部材１１を嵌め込む作業を説明する図である。
上記支軸１０における一方の側端部は、端面から外周面に向って断面直径が漸次大となるテーパーガイド部１０ａが設けられる。上記回り止め用突条１２Ｂ（１２，１２Ａであってもよい）の側端部にも、テーパーガイド部１０ａと略同一の傾斜角度で切欠される切欠ガイド部１３が設けられている。
【００４４】
このことから、スポンジローラーブラシＲ３を製造するには、支軸１０のテーパーガイド部１０ａに筒状スポンジ部材１１の一方の側端部に開口する開口部を当て、筒状スポンジ部材１１の上記側端部を支軸１０の軸方向に沿って強制的に押し込む。
上記テーパーガイド部１０ａにより筒状スポンジ部材１１の内径が弾性変形して拡大するので、筒状スポンジ部材１１の側端部をテーパーガイド部１０ａから支軸１０の外周面へ移動する。
【００４５】
さらに、筒状スポンジ部材１１の側端部を支軸１０の側端部外周面から軸方向に沿って強制的に移動し、回り止め用突条１２Ｂの切欠ガイド部１３に嵌め込む。そして、筒状スポンジ部材１１の側端部を強制的に移動し、ついには支軸１０外周面の略全長に亘って筒状スポンジ部材１１が圧着固定する。
したがって、スポンジローラーブラシＲ３を製造する作業効率の向上を得られる。
【００４６】
なお、以上は支軸１０に筒状スポンジ部材１１を嵌め込むのに、支軸１０にテーパーガイド部１０ａを設けて直接的に行う。しかしながら、これに限定されるものではなく、補助具（治具）を使用してもよい。
図７（Ａ）は第３の実施の形態に係る、補助具であるガイド部材１５の側面図、図７（Ｂ）はガイド部材１５の正面図、図７（Ｃ）はガイド部材１５を用いて支軸１０に筒状スポンジ部材１１を嵌め込む作業を説明する図である。
【００４７】
上記ガイド部材１５は、断面が円形状をなし、先端が尖鋭状に形成される円錐部１６となっている。この先端円錐部１６の基端から所定距離だけ、支軸１０の外径よりも小さく、かつ同一直径の第１の同径部１７が形成される。
さらに、第１の同径部１７の基端から軸方向に沿って漸次直径が拡大されるテーパーガイド部１８が設けられていて、このテーパーガイド部１８における基端の直径は支軸１０の外径よりも大に形成される。
【００４８】
テーパーガイド部１８の基端からは、所定距離だけ同一直径に形成される第２の同径部１９となっている。この第２の同径部１９の端面に支軸１０の外径と同一であり、よって支軸１０端部が着脱自在な嵌合穴２０が設けられる。
嵌合穴２０の深さ寸法は、支軸１０の端面から回り止め用突条１２の端面までの距離と同等に設定される。この寸法設定であれば、回り止め用突条１２が設けられる支軸１０と、回り止め用突条１２が設けられない支軸１０との両方に、上記ガイド部材１５を用いることができる。
【００４９】
つぎに、上記ガイド部材１５を用いたスポンジローラーブラシＲの製造方法について説明する。
ここでは、回り止め用突条１２が設けられる支軸１０を適用するが、他の構造の回り止め用突条１２Ａ，１２Ｂが設けられる支軸１０であってもよく、回り止め用突条が設けられない支軸１０であってもよい。いずれにしても、支軸１０の側端部にテーパーガイド部１０ａを設ける必要はなく、回り止め用突条１２Ｂの側端部に切欠ガイド部１３を設ける必要もない。
【００５０】
はじめに、支軸１０の端部に、ガイド部材１５の第２の同径部１９端面に設けられる嵌合穴２０を嵌着して、支軸１０とガイド部材１５を同一の軸線上に連結する。筒状スポンジ部材１１の一方の側端部に開口する開口部を、ガイド部材１５の先端円錐部１６に嵌合する。
【００５１】
このとき、ガイド部材１５の軸芯位置に対して筒状スポンジ部材１１の軸芯位置が多少のずれがあっても、筒状スポンジ部材１１の開口部がガイド部材１５の先端円錐部１６に倣って必然的に互いの軸芯位置が合致する。
【００５２】
そして、筒状スポンジ部材１１の側端部をガイド部材１５の軸方向に沿って押し込み、筒状スポンジ部材１１側端部をガイド部材円錐部から第１の同径部１７を介してテーパーガイド部１８に強制的に移動する。筒状スポンジ部材１１は内径が徐々に弾性変形して拡大し、第２の同径部１９に移動する。
【００５３】
さらに、筒状スポンジ部材１１側端部を支軸１０の軸方向に沿って強制的に移動すれば、筒状スポンジ部材１１は回り止め用突条１２を覆う。ついには、支軸１０の軸方向略全長に亘って筒状スポンジ部材１１が嵌め合わされ、筒状スポンジ部材１１はそれ自体の弾性力で支軸１０外周面に圧着固定する。
【００５４】
すなわち、ガイド部材１５を用いることにより、筒状スポンジ部材１１を支軸１０に嵌め合せる作業が、より容易化して作業性の向上を図れる。支軸１０端部に上記テーパーガイド部１０ａを設ける必要がなく、回り止め用突条１２を備えても、上記切欠ガイド部１３を設ける必要はない。
【００５５】
いずれにしても、スポンジローラーブラシＲを製造するにあたって加工手間の軽減化を得られ、工数の低減に寄与する。上記ガイド部材１５は繰り返して用いることができ、コストに影響を与えずにすむ。
以上述べたように、スポンジローラーブラシＲを構成する筒状スポンジ部材１１は支軸１０に対して接着剤を用いない、“無接着”で取付けている。そのため、支軸１０の素材が合成樹脂材であれ、ステンレス鋼材であれ、いずれも、スポンジローラーブラシＲとしての使用限度が過ぎた場合は、筒状スポンジ部材１１を支軸１０から引き抜き、もしくは剥ぎ取る作業が比較的容易に行える。
【００５６】
そして、残った支軸１０に対して新品の筒状スポンジ部材１１を無接着で取付ければ、新品のスポンジローラーブラシＲとして実用化できる。支軸１０は何回でも繰り返して使用できるので、リサイクル資源の観点から極めて有効である。勿論、支軸１０の再利用の際は、支軸１０に破損がないことを充分に検査確認し、先に使用されていた汚染物の除去を確実に行って、新品同様な状態としなければならない。
【００５７】
なお、本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、実施段階では要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。そして、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明における第１の実施の形態に係る、スポンジローラーブラシの斜視図と、製造途中を説明する図と、スポンジローラーブラシの側面図。
【図２】本発明における第２の実施の形態に係る、スポンジローラーブラシの斜視図と、支軸の断面図。
【図３】同実施の形態に係る、スポンジローラーブラシの製造途中を説明する図。
【図４】同実施の形態に係る、異なる構造の回り止め用突条を備えた支軸の一部斜視図と、支軸の断面図。
【図５】同実施の形態に係る、支軸の一部斜視図と、支軸の断面図。
【図６】同実施の形態に係る、さらに異なる構造の回り止め用突条を備えたスポンジローラーブラシの製造途中を説明する図。
【図７】本発明における第３の実施の形態に係る、ガイド部材の正面図と、側面図と、スポンジローラーブラシの製造途中を説明する図。
【符号の説明】
【００５９】
Ｒ…スポンジローラーブラシ、１０…支軸、１１…筒状スポンジ部材、１０ａ…テーパーガイド部、１２…回り止め用突条。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被洗浄体として、たとえば平面型表示装置を構成するガラス基板や半導体ウエハを洗浄する基板洗浄装置に用いられるスポンジローラーブラシに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ブラウン管（ＣＲＴ）に代って、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）や、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）が大量に供給されている。このような平面型表示装置を構成するガラス基板や半導体ウエハ（以下、総称して「基板」と呼ぶ）の製造工程において、種々の原因から基板の表面に汚れが発生することがある。
【０００３】
一般に、数μｍ程度の大きさの異物をパーティクルと呼んでいて、このパーティクルが基板表面に付着することによる汚れである。そのため、それぞれの工程で回路パターンを形成する際には、基板表面にパーティクルが付着しない清浄な状態となるよう、基板を洗浄する。
【０００４】
基板洗浄装置において、基板を１枚ずつ洗浄する枚葉洗浄方式では、ディスク状もしくはロール状のブラシが用いられ、ブラシを基板に摺接させ、基板を物理的に“こする“ことで洗浄を行っている。たとえば、［特許文献１］には、平板印刷版処理装置に用いられるものであるが、ブラシロールが記載されている。
【０００５】
しかるに、基板の主面上には種々の被膜、たとえばＩＴＯやＣｒなどの金属膜や、カラーフィルタ用の有機膜などの柔らかい膜が形成されている。これらの柔らかい被膜面をブラシロールが“こする”ことにより、傷付くことがある。
【０００６】
【特許文献１】特開平６−１４８９００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、柔らかい被膜面を洗浄対象とする場合は、剛体である支軸に、弾性を有する筒状スポンジ部材を取付けた、スポンジローラーブラシが多用される傾向にある。上記スポンジの素材としては、たとえばＰＶＡ（ポリビニールアミール）や、ＰＶＦ（ポリビニールフェミニン）等の高分子合成樹脂材、あるいはポリウレタンが用いられる。
【０００８】
この種のスポンジローラーブラシを製造するにあたって、予め支軸の外周面に接着剤を塗布する。そして、支軸外周面に筒状スポンジ部材の内径部を挿入し、位置決めをなして仮固定し所定時間放置すれば、筒状スポンジ部材を支軸に接着固定できる。接着剤は、筒状スポンジ部材を支軸に確実に取付けるために、充分な量が塗布される。
【０００９】
通常は、筒状スポンジ部材の側端部から接着剤がはみ出た状態となることが多く、接着剤は洗浄液（薬品）によって濡れ易い。条件によっては、接着剤を構成する成分が洗浄液に溶出し、洗浄液の組成を変えてしまう。
さらに、洗浄中は洗浄液が筒状スポンジ部材全体に含浸して最深部まで浸透し、支軸に塗布される接着剤を濡らす。たとえ接着剤が筒状スポンジ部材からはみ出ないとしても、結局は、洗浄液は接着剤に接触することとなり、接着剤が洗浄液に溶出する現象を防止できない。
【００１０】
本発明は上記事情にもとづきなされたものであり、その目的とするところは、接着剤を用いずに筒状スポンジ部材を支軸に取付け固定して、洗浄液に対する影響を無くし、高純度で高品質の基板洗浄を可能としたスポンジローラーブラシを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を満足するため本発明は、被洗浄体と中心軸を平行にして回転駆動され、洗浄液が供給される被洗浄体に摺接して、被洗浄体を洗浄するスポンジローラーブラシであり、断面円形状をなし軸方向に所定長さを有する剛体からなる支軸と、内径を強制的に拡大するよう弾性変形した状態で支軸の外周面に嵌め合わされ、それ自体の弾性力によって支軸外周面に圧着固定する筒状スポンジ部材とを具備する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、接着剤を用いずにスポンジ部材を支軸に取付け固定して、接着剤による影響をなくし、高純度で高品質の洗浄をなすという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を、図面にもとづいて説明する。
図１（Ａ）は第１の実施の形態でのスポンジローラーブラシＲ１の透視した斜視図、図１（Ｂ）は同スポンジローラーブラシＲ１の製造工程を説明する図、図１（Ｃ）は完成した同スポンジローラーブラシＲ１の側面図である。
【００１４】
図１（Ａ）に示すようにスポンジローラーブラシＲ１は、中空筒体（中実であってもよい）からなり、剛体である支軸１０と、この支軸１０外周面に圧着固定される、弾性を有する筒状スポンジ部材１１とから構成される。
【００１５】
筒状スポンジ部材１１の両側端面から支軸１０の両端部が突出するよう、支軸１０の軸方向全長に対して筒状スポンジ部材１１の軸方向全長は短く形成される。支軸１０の筒状スポンジ部材１１から突出する両端部は駆動部に支持され、スポンジローラーブラシＲ１は被洗浄体である基板と中心軸を平行にして回転駆動されるようになっている。
【００１６】
上記筒状スポンジ部材１１の素材は、従来と同様、ＰＶＡや、ＰＶＦ等の高分子合成樹脂材、あるいはポリウレタンが用いられる。上記支軸１０は、ＰＶＣやＡＢＳ等の接着剤を使用できる合成樹脂材や、ＵＰＥ（超高分子ポリエチレン）、ＰＥ、もしくはＰＰ等の接着剤を使用できない合成樹脂材を用いることができる。
【００１７】
従来、支軸に筒状スポンジ部材を取付けるのに接着剤を用いていたため、支軸の素材はＰＶＣやＡＢＳ等に限定されていたが、ここでは後述するように、接着剤を用いることなく支軸１０に筒状スポンジ部材１１を取付け固定するので、接着剤を使用できる合成樹脂材ばかりでなく、接着剤を使用できない合成樹脂材からも幅広く選択できる。
【００１８】
また、これら合成樹脂材からなる支軸１０を備えたスポンジローラーブラシＲ１は、金属反応を起すことが判明している洗浄液を用いる基板洗浄装置に使用される場合がある。洗浄液が金属反応を起すと、洗浄対象物である液晶ガラス基板に形成される被膜等に悪影響を及ぼす。
【００１９】
金属反応を起さないことが判明している洗浄液を用いる、基板洗浄装置に使用される場合もある。この条件では、スポンジローラーブラシＲ１の支軸１０はステンレス鋼（ＳＵＳ）材が用いられ、完成したスポンジローラーブラシＲ１を基板洗浄装置に取付けるのに、ステンレス製のフランジやビス、ねじ類が用いられる。
【００２０】
図１（Ｂ）に示すように、支軸１０の一方の側端部には、この端面から外周面に亘って断面直径が漸次大となるテーパーガイド部１０ａが設けられる。上記テーパーガイド部１０ａは、パイプ状をなす支軸１０の内径部から外周面にかけて斜めに切欠加工される。
上記筒状スポンジ部材１１は、図１（Ｂ）に破線で示し、図１（Ｃ）に二点鎖線で示すように、支軸１０に嵌め込まれる以前の状態として、この内径は支軸１０の直径（外径）よりも小さく形成されている。
【００２１】
上記筒状スポンジ部材１１を支軸１０外周面に取付け固定してスポンジローラーブラシＲ１を製造するには、以下の方法による。
支軸１０のテーパーガイド部１０ａに、上記筒状スポンジ部材１１の一方の側端部に開口する開口部を当てる。このとき、支軸１０の軸芯と筒状スポンジ部材１１の軸芯を正しく合わせる必要がある。
【００２２】
そして、筒状スポンジ部材１１の上記側端部を支軸１０の軸方向に沿って強制的に押し込む。テーパーガイド部１０ａに対して筒状スポンジ部材１１の開口部が滑り、この内径が強制的に弾性変形され拡大する。さらに筒状スポンジ部材１１を押し込むことで、この側端部はテーパーガイド部１０ａから筒状スポンジ部材１１外周面へ移動する。
【００２３】
筒状スポンジ部材１１の押し込みを継続し、側端部を支軸１０の端部外周面から軸方向に沿って強制的に移動する。ついには、図１（Ａ）に示すように、筒状スポンジ部材１１は支軸１０外周面の略全長に亘って被う。筒状スポンジ部材１１は、それ自体の弾性力で支軸１０外周面に圧着固定し、スポンジローラーブラシＲ１が完成する。
【００２４】
特に、スポンジローラーブラシＲ１における外径精度が要求される仕様においては、スポンジローラーブラシＲ１の周面を研磨加工して仕様に合わせる。
結局、接着剤を何ら用いることなく、支軸１０に筒状スポンジ部材１１を確実に取付け固定できる。完成したスポンジローラーブラシＲ１を基板洗浄装置に取付けて基板洗浄作用をなしても、洗浄液に対し何らの影響も与えずに、高純度で高品質の洗浄が行われる。
【００２５】
なお、筒状スポンジ部材１１の支軸１０に対する嵌め合いの最適な設定は、以下の通りである。
たとえば、支軸１０の外径がφ５０ｍｍである場合は、筒状スポンジ部材１１の内径がφ４５ｍｍのものを用いる。スポンジローラーブラシＲとして完成した状態で、筒状スポンジローラーブラシＲは支軸１０に対して最適状態で圧着固定する。
【００２６】
支軸１０外径と筒状スポンジ部材１１内径との差に対する支軸１０外径の割合を、「嵌め合い率」と呼ぶとすると、上記した支軸１０外径がφ５０ｍｍ、筒状スポンジ部材１１内径がφ４５ｍｍでの嵌め合い率は、「１０％」となる。支軸１０の外径の大小に応じて筒状スポンジ部材１１の内径を調整し、嵌め合い率を適宜選択する必要がある。
【００２７】
支軸１０外径が小径のものは、嵌め合い率を３〜１０％の範囲で調整する。支軸１０外径がφ７５〜１００ｍｍ程度の大径の場合は、嵌め合い率を１０〜２０％程度とする。このように支軸１０直径が大になるにしたがって、嵌め合い率も大になる。
また、スポンジローラーブラシＲ１として、実際に洗浄作用をなす筒状スポンジ部材１１は、被洗浄体である基板に応じて、硬度を上げる場合と、硬度を下げる場合がある。筒状スポンジ部材１１の硬度を上げるには嵌め合い率を大に設定し、硬度を下げるには嵌め合い率を小に設定する。
【００２８】
筒状スポンジ部材１１の内径と、スポンジローラーブラシＲ１として完成した状態での筒状スポンジ部材１１の硬度との関係は、基板を洗浄する際において筒状スポンジ部材１１が受ける“圧力”と関連がある。
基板の洗浄時に、筒状スポンジ部材１１に強い圧力が加わる場合は、嵌め合い率を大きく設定して硬度を上げる。筒状スポンジ部材１１に弱い圧力のみが加わる場合は、嵌め合い率を小さく設定して硬度を下げる。全て、被洗浄体に対する洗浄状況に応じて適宜調整する必要がある。
【００２９】
図２（Ａ）は、第２の実施の形態に係るスポンジローラーブラシＲ２の透視斜視図、図２（Ｂ）はスポンジローラーブラシＲ２を構成する支軸１０の断面図である。
図２（Ａ）に示すように、このスポンジローラーブラシＲ２は、支軸１０と、支軸１０の外周面に圧着固定される筒状スポンジ部材１１とから構成される。支軸１０と筒状スポンジ部材１１の構成は、先に説明したものと全く同一であり、ここでは新たな説明は省略する。
【００３０】
上記支軸１０の外周面に沿って互いに所定間隔を存するとともに、それぞれが支軸１０の軸方向に亘って複数（８本）の回り止め用突条１２が設けられる。たとえば、支軸１０の外径がφ５０ｍｍである場合、回り止め用突条１２の断面寸法は、縦横５ｍｍのものを用いるとよい。
【００３１】
回り止め用突条１２の全長は筒状スポンジ部材１１の全長（軸方向長さ）よりも小さく形成される。したがって、後述するように支軸１０に筒状スポンジ部材１１が嵌め込まれた状態で、上記回り止め用突条１２は筒状スポンジ部材１１で覆われ、この端面から突出することはない。
【００３２】
上記支軸１０が合成樹脂材で形成される場合は、回り止め用突条１２を支軸１０と一体に成形する。もしくは、支軸１０が合成樹脂材のうちで特にＰＶＣ材が選択された場合は、ＰＶＣ材からなる回り止め用突条１２を支軸１０とは別個に製作し、追って部分溶接等の手段で固着する。
上記支軸１０がステンレス鋼材で形成される場合は、同一素材からなる回り止め用突条１２を支軸１０とは別個に製作し、追って支軸１０および回り止め用突条１２と同一素材で成形されるビスなどの固定具を用いて取付け固定する。
【００３３】
このように、支軸１０の素材として合成樹脂材もしくはステンレス鋼材のいずれかを選択しても、回り止め用突条１２を支軸１０に対して取付け固定するにあたって、接着剤を使用しないことは、勿論である。
図３は、回り止め用突条１２を備えた支軸１０に、筒状スポンジ部材１１を嵌め合せる工程の一部を示す斜視図である。
【００３４】
支軸１０における図示しない一方の側端部には、上記テーパーガイド部１０ａが設けられている。筒状スポンジ部材１１内径は支軸１０外径よりも小さく、筒状スポンジ部材１１の一端開口部をテーパーガイド部１０ａに当てて、強制的に押し込む。筒状スポンジ部材１１の内径は弾性変形して拡大し、この端部は支軸１０外周面に嵌め込まれる。
【００３５】
さらに筒状スポンジ部材１１を支軸１０の軸方向に沿って強制的に押し込むと、図３に示すように回り止め用突条１２が筒状スポンジ部材１１に嵌め込まれる。筒状スポンジ部材１１に対する作用を継続すれば、ついには再び図２（Ａ）に示すように、筒状スポンジ部材１１が、それ自体の弾性力で支軸１０外周面に圧着固定する。
【００３６】
筒状スポンジ部材１１は所定の肉厚と硬度があり、回り止め用突条１２を嵌め込んでいながら外周面は真円状をなす。換言すれば、回り止め用突条１２を備えた支軸１０に筒状スポンジ部材１１を嵌め合せても、筒状スポンジ部材１１の真円度が損なわれないよう、回り止め用突条１２の断面寸法が設定され、筒状スポンジ部材１１の硬度が選択される。
【００３７】
筒状スポンジ部材１１の真円度が確保されているから、実際に基板洗浄をなすにあたって、筒状スポンジ部材１１の基板に対する接触圧は全周に亘って均等であり、よって高純度で高品質の洗浄が行われる。
支軸１０周面に複数の回り止め用突条１２を設けたから、たとえ基板に対する接触圧を高めた洗浄を行っても、筒状スポンジ部材１１が支軸１０の周方向に位置ずれするようなことがなく、より高純度で高品質の洗浄が行われる。
【００３８】
図４（Ａ）は異なる構造の回り止め用突条１２Ａを備えた支軸１０の一部斜視図、図４（Ｂ）は支軸１０の断面図である。
回り止め用突条１２Ａの本数、全長、および支軸１０に対する取付け構造は、先に説明したものと同一でよい。ここで回り止め用突条１２Ａの突出側の先端が三角状に形成され、支軸１０の軸方向に対して略螺旋状に捩った状態で取付けられる。
【００３９】
上記支軸１０が合成樹脂材で成形される場合は、これら回り止め用突条１２Ａは、支軸１０外周面に一体に成形される、もしくは、同一素材で製作されたあと、部分溶接など、接着剤や金属製固定具を用いることない手段で取付け固定される。
支軸１０がステンレス鋼材で成形される場合は、回り止め用突条１２Ａもステンレス鋼材で成形され、ステンレス製の固定具で取付け固定される。この場合も、回り止め用突条１２Ａは接着剤を用いることはない手段で取付け固定される。
【００４０】
回り止め用突条１２Ａが支軸１０に略螺旋状に捩って取付けられているので、筒状スポンジ部材１１を支軸１０に対して捩りながら嵌め込む。したがって、筒状スポンジ部材１１を支軸１０外周面に円滑に取付けられるとともに、回り止め用突条１２Ａの三角状先端が筒状スポンジ部材１１の内周面に食い込む。
実際に洗浄作用を行っている状態で、スポンジローラーブラシＲが軸方向とは直交する周方向に圧力を受けても、上記回り止め用突条１２Ａを備えたことで、筒状スポンジ部材１１の位置ずれがなく、より高純度で、より高精度の洗浄が可能となる。
【００４１】
図５（Ａ）は、さらに異なる構造の回り止め用突条１２Ｂを備えた支軸１０の一部斜視図、図５（Ｂ）は支軸１０の断面図である。
回り止め用突条１２Ｂは、支軸１０の外周面に沿って互いに所定間隔を存するとともに、それぞれが支軸１０の軸方向に亘って複数本設けられる。そして、各回り止め用突条１２Ｂは、支軸１０の軸方向に複数に分割されていて、分割部分は間隙を存して取付けられる。
【００４２】
上記支軸１０が合成樹脂材で成形される場合は、これら回り止め用突条１２Ｂは支軸１０周面に一体に成形される、もしくは、同一素材で支軸１０とは別個に製作されたあと、部分溶接など、接着剤や金属製固定具を用いることない手段で取付け固定される。
支軸１０がステンレス鋼材で成形される場合は、回り止め用突条１２Ｂはステンレス鋼材で成形され、ステンレス製の固定具（ビス類）で取付け固定される。この場合も、接着剤を用いることのない手段で取付け固定される。
【００４３】
以上説明した回り止め用突条１２，１２Ａ，１２Ｂを備えた支軸１０は、一方の側端部にテーパーガイド部１０ａが設けられるが、これら回り止め用突条自体にも筒状スポンジ部材１１の嵌め合い時の作業効率の向上化を得る手段が備えられる。
図６は、支軸１０に筒状スポンジ部材１１を嵌め込む作業を説明する図である。
上記支軸１０における一方の側端部は、端面から外周面に向って断面直径が漸次大となるテーパーガイド部１０ａが設けられる。上記回り止め用突条１２Ｂ（１２，１２Ａであってもよい）の側端部にも、テーパーガイド部１０ａと略同一の傾斜角度で切欠される切欠ガイド部１３が設けられている。
【００４４】
このことから、スポンジローラーブラシＲ３を製造するには、支軸１０のテーパーガイド部１０ａに筒状スポンジ部材１１の一方の側端部に開口する開口部を当て、筒状スポンジ部材１１の上記側端部を支軸１０の軸方向に沿って強制的に押し込む。
上記テーパーガイド部１０ａにより筒状スポンジ部材１１の内径が弾性変形して拡大するので、筒状スポンジ部材１１の側端部をテーパーガイド部１０ａから支軸１０の外周面へ移動する。
【００４５】
さらに、筒状スポンジ部材１１の側端部を支軸１０の側端部外周面から軸方向に沿って強制的に移動し、回り止め用突条１２Ｂの切欠ガイド部１３に嵌め込む。そして、筒状スポンジ部材１１の側端部を強制的に移動し、ついには支軸１０外周面の略全長に亘って筒状スポンジ部材１１が圧着固定する。
したがって、スポンジローラーブラシＲ３を製造する作業効率の向上を得られる。
【００４６】
なお、以上は支軸１０に筒状スポンジ部材１１を嵌め込むのに、支軸１０にテーパーガイド部１０ａを設けて直接的に行う。しかしながら、これに限定されるものではなく、補助具（治具）を使用してもよい。
図７（Ａ）は第３の実施の形態に係る、補助具であるガイド部材１５の側面図、図７（Ｂ）はガイド部材１５の正面図、図７（Ｃ）はガイド部材１５を用いて支軸１０に筒状スポンジ部材１１を嵌め込む作業を説明する図である。
【００４７】
上記ガイド部材１５は、断面が円形状をなし、先端が尖鋭状に形成される円錐部１６となっている。この先端円錐部１６の基端から所定距離だけ、支軸１０の外径よりも小さく、かつ同一直径の第１の同径部１７が形成される。
さらに、第１の同径部１７の基端から軸方向に沿って漸次直径が拡大されるテーパーガイド部１８が設けられていて、このテーパーガイド部１８における基端の直径は支軸１０の外径よりも大に形成される。
【００４８】
テーパーガイド部１８の基端からは、所定距離だけ同一直径に形成される第２の同径部１９となっている。この第２の同径部１９の端面に支軸１０の外径と同一であり、よって支軸１０端部が着脱自在な嵌合穴２０が設けられる。
嵌合穴２０の深さ寸法は、支軸１０の端面から回り止め用突条１２の端面までの距離と同等に設定される。この寸法設定であれば、回り止め用突条１２が設けられる支軸１０と、回り止め用突条１２が設けられない支軸１０との両方に、上記ガイド部材１５を用いることができる。
【００４９】
つぎに、上記ガイド部材１５を用いたスポンジローラーブラシＲの製造方法について説明する。
ここでは、回り止め用突条１２が設けられる支軸１０を適用するが、他の構造の回り止め用突条１２Ａ，１２Ｂが設けられる支軸１０であってもよく、回り止め用突条が設けられない支軸１０であってもよい。いずれにしても、支軸１０の側端部にテーパーガイド部１０ａを設ける必要はなく、回り止め用突条１２Ｂの側端部に切欠ガイド部１３を設ける必要もない。
【００５０】
はじめに、支軸１０の端部に、ガイド部材１５の第２の同径部１９端面に設けられる嵌合穴２０を嵌着して、支軸１０とガイド部材１５を同一の軸線上に連結する。筒状スポンジ部材１１の一方の側端部に開口する開口部を、ガイド部材１５の先端円錐部１６に嵌合する。
【００５１】
このとき、ガイド部材１５の軸芯位置に対して筒状スポンジ部材１１の軸芯位置が多少のずれがあっても、筒状スポンジ部材１１の開口部がガイド部材１５の先端円錐部１６に倣って必然的に互いの軸芯位置が合致する。
【００５２】
そして、筒状スポンジ部材１１の側端部をガイド部材１５の軸方向に沿って押し込み、筒状スポンジ部材１１側端部をガイド部材円錐部から第１の同径部１７を介してテーパーガイド部１８に強制的に移動する。筒状スポンジ部材１１は内径が徐々に弾性変形して拡大し、第２の同径部１９に移動する。
【００５３】
さらに、筒状スポンジ部材１１側端部を支軸１０の軸方向に沿って強制的に移動すれば、筒状スポンジ部材１１は回り止め用突条１２を覆う。ついには、支軸１０の軸方向略全長に亘って筒状スポンジ部材１１が嵌め合わされ、筒状スポンジ部材１１はそれ自体の弾性力で支軸１０外周面に圧着固定する。
【００５４】
すなわち、ガイド部材１５を用いることにより、筒状スポンジ部材１１を支軸１０に嵌め合せる作業が、より容易化して作業性の向上を図れる。支軸１０端部に上記テーパーガイド部１０ａを設ける必要がなく、回り止め用突条１２を備えても、上記切欠ガイド部１３を設ける必要はない。
【００５５】
いずれにしても、スポンジローラーブラシＲを製造するにあたって加工手間の軽減化を得られ、工数の低減に寄与する。上記ガイド部材１５は繰り返して用いることができ、コストに影響を与えずにすむ。
以上述べたように、スポンジローラーブラシＲを構成する筒状スポンジ部材１１は支軸１０に対して接着剤を用いない、“無接着”で取付けている。そのため、支軸１０の素材が合成樹脂材であれ、ステンレス鋼材であれ、いずれも、スポンジローラーブラシＲとしての使用限度が過ぎた場合は、筒状スポンジ部材１１を支軸１０から引き抜き、もしくは剥ぎ取る作業が比較的容易に行える。
【００５６】
そして、残った支軸１０に対して新品の筒状スポンジ部材１１を無接着で取付ければ、新品のスポンジローラーブラシＲとして実用化できる。支軸１０は何回でも繰り返して使用できるので、リサイクル資源の観点から極めて有効である。勿論、支軸１０の再利用の際は、支軸１０に破損がないことを充分に検査確認し、先に使用されていた汚染物の除去を確実に行って、新品同様な状態としなければならない。
【００５７】
なお、本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、実施段階では要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。そして、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明における第１の実施の形態に係る、スポンジローラーブラシの斜視図と、製造途中を説明する図と、スポンジローラーブラシの側面図。
【図２】本発明における第２の実施の形態に係る、スポンジローラーブラシの斜視図と、支軸の断面図。
【図３】同実施の形態に係る、スポンジローラーブラシの製造途中を説明する図。
【図４】同実施の形態に係る、異なる構造の回り止め用突条を備えた支軸の一部斜視図と、支軸の断面図。
【図５】同実施の形態に係る、支軸の一部斜視図と、支軸の断面図。
【図６】同実施の形態に係る、さらに異なる構造の回り止め用突条を備えたスポンジローラーブラシの製造途中を説明する図。
【図７】本発明における第３の実施の形態に係る、ガイド部材の正面図と、側面図と、スポンジローラーブラシの製造途中を説明する図。
【符号の説明】
【００５９】
Ｒ…スポンジローラーブラシ、１０…支軸、１１…筒状スポンジ部材、１０ａ…テーパーガイド部、１２…回り止め用突条。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄体と中心軸を平行にして回転駆動され、洗浄液が供給される被洗浄体に摺接して、被洗浄体を洗浄するスポンジローラーブラシであり、
断面円形状をなし、軸方向に所定長さを有する、剛体からなる支軸と、
内径を強制的に拡大するよう弾性変形した状態で上記支軸の外周面に嵌め合わされ、それ自体の弾性力によって支軸外周面に圧着固定する筒状スポンジ部材と
を具備することを特徴とするスポンジローラーブラシ。
【請求項２】
上記支軸における一方の側端部に、この端面から外周面に亘って断面直径が漸次大となるテーパーガイド部が設けられることを特徴とする請求項１記載のスポンジローラーブラシ。
【請求項３】
上記支軸の外周面に沿って互いに所定間隔を存するとともに、それぞれが支軸の軸方向に亘って複数の回り止め用突条が設けられ、
これら回り止め用突条は、支軸外周面に一体に成形される、もしくは、部分溶接、ビス止め等の接着剤を用いることない手段で取付け固定されることを特徴とする請求項１および請求項２のいずれかに記載のスポンジローラーブラシ。
【請求項１】
被洗浄体と中心軸を平行にして回転駆動され、洗浄液が供給される被洗浄体に摺接して、被洗浄体を洗浄するスポンジローラーブラシであり、
断面円形状をなし、軸方向に所定長さを有する、剛体からなる支軸と、
内径を強制的に拡大するよう弾性変形した状態で上記支軸の外周面に嵌め合わされ、それ自体の弾性力によって支軸外周面に圧着固定する筒状スポンジ部材と
を具備することを特徴とするスポンジローラーブラシ。
【請求項２】
上記支軸における一方の側端部に、この端面から外周面に亘って断面直径が漸次大となるテーパーガイド部が設けられることを特徴とする請求項１記載のスポンジローラーブラシ。
【請求項３】
上記支軸の外周面に沿って互いに所定間隔を存するとともに、それぞれが支軸の軸方向に亘って複数の回り止め用突条が設けられ、
これら回り止め用突条は、支軸外周面に一体に成形される、もしくは、部分溶接、ビス止め等の接着剤を用いることない手段で取付け固定されることを特徴とする請求項１および請求項２のいずれかに記載のスポンジローラーブラシ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２００９−１０１２５３（Ｐ２００９−１０１２５３Ａ）
【公開日】平成２１年５月１４日（２００９．５．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２７３００２（Ｐ２００７−２７３００２）
【出願日】平成１９年１０月１９日（２００７．１０．１９）
【出願人】（５０５１４０６６１）株式会社 リンダース・ロージクト (2)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年５月１４日（２００９．５．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１０月１９日（２００７．１０．１９）
【出願人】（５０５１４０６６１）株式会社 リンダース・ロージクト (2)
【Ｆターム（参考）】
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