Fターム[5F157AA00]の内容
半導体の洗浄、乾燥 (54,359) | 被洗浄物の形状、形態 (6,397)
Fターム[5F157AA00]の下位に属するFターム
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Fターム[5F157AA00]に分類される特許
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反応器表面の選択的エッチング
組成物、方法、およびシステムは、反応器の金属部(チタンおよび/またはチタン合金など)における金属酸化物を選択的にエッチングできる。エッチング組成物はアルカリ金属水酸化物および没食子酸を含む。この方法は酸化アルミニウムなどの金属酸化膜の堆積に用いられる反応チャンバの洗浄に有用である。 (もっと読む)
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