【課題】部品の母材を傷付けることなくパリレン膜を効率よく除去することができる除膜方法を提供する。
【解決手段】成膜装置を用いて成膜対象物に対しパリレン膜を成膜したとき、この成膜装置の構成部品Ｂに付着したパリレン膜Ｐを除去する除膜方法において、パリレン膜Ｐが付着した構成部品Ｂたる防着板の表面にペレット状のドライアイスを吹き付けて衝突させるブラスト工程を含む。このブラスト工程に先立ち、防着板を加熱する加熱工程を更に含ませてもよい。 （もっと読む）

【課題】ワーク洗浄配管の洗浄液供給口から洗浄液が急に吹き出すのを防止する。
【解決手段】洗浄手段３は、ロール状の洗浄部３０と、板状ワークＷの裏面ＷＢに洗浄液を供給するワーク洗浄配管３２とワーク洗浄配管３２に連結し洗浄液供給源３３０に連通する洗浄液供給配管３３とこれに分岐する圧力緩和配管３４と洗浄液供給配管３３に配設される洗浄液供給バルブ３５とを少なくとも備え、ワーク洗浄配管３２には複数の供給口３００が開いており、圧力緩和配管３４は、洗浄液供給配管３３に洗浄液が満たされると空気室が形成され、空気室の空気は、洗浄液供給バルブ３５を開くと収縮し、洗浄液供給バルブ３５を閉じると膨張し洗浄液供給配管３３及びワーク洗浄配管３２の内部における圧力上昇を緩和させる。そして、ワーク洗浄配管３２の供給口３００から洗浄液が急に吹き出すことを防止できる。 （もっと読む）

【課題】騒音が小さく、エネルギー浪費量が少なく、再汚染の可能性が低く、幅広の鋼板に適用可能であり、かつ長期間の連続使用にも耐えられる板表面の液体除去装置及び鋼板表面の液体の除去方法を提供する。
【解決手段】板表面１１ａに付着した液体１２を吸収可能な多孔質弾性体層２がロール面３ａに備えられた水切ロール３と、多孔質弾性体層２を押し潰すように水切ロール３に押し当てられる絞りロール４と、を具備しており、絞りロール４によって多孔質弾性体層２から絞り出された液体１２が、絞りロール４及び水切ロール３の回転軸方向に沿って排出されるように構成された鋼板表面の液体除去装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】 被洗浄面に打痕傷や細かな傷を付けることが無く、高い洗浄性が発揮される各種洗浄ブラシ、各種清掃ブラシに使用されるブラシ用毛材を安価に提供する。
【解決手段】 ブラシ用毛材１は、基部６と、中間部７と、先端部８とから構成されている。また、基部６及び中間部７は、熱可塑性樹脂で構成された複数本の概柱形状からなるモノフィラメント糸２、２、・・が溶融接合された接合部を有して集束されたセミマルチフィラメント糸４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘り優れた液体除去性能が発揮されるロール、及びそのロールを搭載した洗浄装置を提供する。
【解決手段】鋼板、非鉄金属板、樹脂板、あるいはフィルム状の対象物に付着した水分、油分、あるいは薬品成分等の液体を除去、搾取、洗浄する為のロール１において、前記ロール１はロール部２及び台座３を有し、前記台座３は前記ロール部２が外周に形成される本体部７、及び前記本体部７の両端に回転支持部８を有し、前記ロール部２は不織布１３にて形成されてあると共に、外周面の表面状態は研削及び／又は研磨加工が施されることにより、前記ロール１を前記対象物に当接させた時に回転方向によって摩擦係数が大となる表面状態と、摩擦係数が小となる表面状態を有しており、前記ロール部２は前記対象物の搬送方向にたいして、摩擦係数が小となる表面状態の回転方向にて前記対象物に当接するものである。 （もっと読む）

【課題】効率良く、ＵＶ樹脂をはがし取ることが可能なドライアイスペレットを用いた洗浄方法を提供する。
【解決手段】固定治具に固定される洗浄対象物に対して、ドライエアーを用いて、ドライアイスペレットを吹き付け、前記対象物の表面を洗浄する。前記ドライエアーは、露点が、−６０°ないし−８０°である。前記ドライエアーと前記ドライアイスペレットを前記対象物の表面に噴射するノズルを有し、前記ノズルと前記対象物の表面との間の間隔は、５ｍｍないし７０ｍｍである。前記ノズルの断面形状は、円形形状、あるいは、楕円形状、あるいは長方形である。前記ドライアイスペレットは、直径が１ｍｍないし３ｍｍで、長さが１ｍｍないし５ｍｍ、より好ましくは、長さが１ｍｍないし５ｍｍである。前記対象物は、製品分解後の液晶表示パネルの上偏光板、タッチパネル、あるいは、フロントウィンドウのいずれかである。 （もっと読む）

【課題】プラズマによる劣化を回避しつつ点火機構を簡略化する。
【解決手段】一方の端部が閉塞板１１ｂで閉塞され、かつ他方の端部が開放端に形成された筒状の筐体１１と、閉塞板１１ｂの内面に筐体１１の筒長方向に沿って延出するように立設されると共に入力した高周波信号Ｓ１を放射する棒状の放射器１４とを備え、閉塞板１１ｂ側から開放端側に向かう気流を筐体１１内に発生させるように筐体１１内にガス供給部４によって放電用ガスＧが供給され、かつ放射器１４が高周波信号Ｓ１を放射している状態において、放射器１４の先端近傍から気流に乗って筐体１１の外方へ伸びるプラズマＰを発生させるプラズマ処理装置１であって、放射器１４との間で放電Ｄを発生させてプラズマＰを点火する点火導体５ａを有する点火機構５を備え、放電電極としての点火導体５ａの先端は、放射器１４の先端よりも気流の上流側に配設されている。 （もっと読む）

【課題】紫外線ランプを収容するケーシング内のガスの置換効率を向上させることにより、ガスの置換時間を短縮するとともに、当該置換におけるガスの使用量を低減する。
【解決手段】ワークＷに紫外線を照射する紫外線ランプ２と、紫外線ランプ２を収容し、ワークＷに対向して開口する開口部３１を有するケーシング３と、ケーシング３内にガスを供給するガス供給機構４とを備え、ケーシング３の内面又は内部空間に、ガス供給機構４により供給されたガスを紫外線ランプ２の周囲を一方向に循環させるための循環案内面３ｘが設けられている。 （もっと読む）

【課題】放電により生じた寿命の短いラジカルを減衰を受ける前に被処理体に向けて噴出できるようにし、エネルギ効率の高い表面処理を実現する。
【解決手段】貫通微細孔１５を有する導電性電極６と誘電体被覆１２で被覆された高圧導電体１１との間で放電を生じ、その高圧導電体１１を貫通微細孔１５近傍のガス流速方向上流側に偏って配置することで、放電領域４０を高圧導電体１１の位置に対応して貫通微細孔１５近傍のガス流速方向上流側に限定し、放電により生じた活性粒子を減衰を受ける前にガス流に乗せて効率よく抽出し、貫通微細孔１５の出口から、当該出口に対向して置かれた被処理体（図示せず）に向けて噴射して、被処理体の表面処理を行う。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象物が微細な穴や凹部を有していても洗浄ムラの発生を高精度に抑制でき、乾式クリーニングにおける洗浄能力向上に寄与できる洗浄媒体を提供する。
【解決手段】平行四辺形の洗浄媒体ＰＣ−１は、使用前の状態において微細な穴の内部に進入できる鋭角部ＳＣを有しているとともに、その面形状内に、一辺に平行に形成されたライン状の割れ誘導部ＬＹを複数有している。洗浄中に繰り返し加わる衝突等の応力により、割れ誘導部ＬＹを境界に破断し、分離した分離片には、新たなエッジ及び鋭角部ＮＳＣが形成される。これにより、洗浄プロセス中全体に亘って、微細な穴の内部の汚れを除去できる洗浄能力が維持される。 （もっと読む）

【課題】初期段階から油の除去性能が高く、慣らし使用を必要とすることなく、高いグリップ力を有するロール、及びそのロールを搭載した洗浄装置を提供する。
【解決手段】鋼板、非鉄金属板、樹脂板、あるいはフィルム状の被洗浄面に付着した油分を除去、搾取、洗浄する為のロール１において、前記ロール１は、ロール部２及び台座３を有し、前記ロール部２は不織布１１からなる概円環状の複数枚のロール片４が前記台座３の外周に積層されて形成されてあり、前記不織布１１は複数本の繊維１２及び前記繊維１２を結合する結合剤１３からなり、前記結合剤１３は高分子弾性体と、炭化水素系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤のうち少なくとも１種類以上の界面活性剤を有するものである。 （もっと読む）

【課題】被照射物に付着した有機物等の汚染物と大気中に含まれる汚染物質との反応生成物が被照射物に付着することを防止または抑制することができ、従って、所要の光洗浄処理を確実に達成することができる光照射装置を提供する。
【解決手段】エキシマランプと、このエキシマランプを取り囲むよう設けられた、当該エキシマランプからの光を外部に出射する開口および内部のガスを排出するガス排出口を有するランプハウスと、このランプハウスの開口から当該ランプハウスの内部に大気を導入し、当該ランプハウスのガス排出口から排出するガス排出機構とを備えてなり、前記エキシマランプには、その放射光が前記ランプハウス内におけるガス流通路を形成する壁面に照射されないよう当該放射光を遮蔽する光遮蔽手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】高い液体除去機能が発揮されると共に、耐摩耗性に優れたロール、及びそのロールを搭載した洗浄装置を提供する。
【解決手段】鋼板、非鉄金属板、樹脂板、あるいはフィルム状の被洗浄面に付着した水分、油分、あるいは薬品成分等の液体を除去、搾取、洗浄する為のロール１において、前記ロール１はロール部２及び台座３を有し、前記台座３は前記ロール部２が外周に形成される本体部７、及び前記本体部７の両端に連接される継ぎ手部Ａ８及び継ぎ手部Ｂ９を有し、前記ロール部２は不織布１７からなる複数の概円環状のロール片４ａ、４ｂが積層されて形成されてあると共に、前記不織布１７は多数の極細繊維２１が束状に形成された繊維束２２と、前記繊維束２２を結合する高分子弾性体２７を有し、前記極細繊維２１は長繊維である。 （もっと読む）

【課題】 光放射ユニットの移動によるエキシマランプの破損を防止することができ、所期の紫外線照射処理を確実に行うことのできる光処理装置を提供すること。
【解決手段】 この光処理装置は、ケーシング内部に長尺なエキシマランプが配置されてなる光放射ユニットと、この光放射ユニットを光処理領域に対して進入退出可能に往復水平移動させる光放射ユニット移動機構とを具えてなり、前記エキシマランプは、その長手方向が前記光放射ユニットの移動方向と一致する状態で、長手方向における両端部が前記ケーシングに固定されている。 （もっと読む）

【課題】処理基板の中心部と周辺部のエッチング速度が異なるローディング効果を抑制することの出来るエッチング装置を提供する。
【解決手段】処理基板１１が載置されるステージ７が配置された陰極側電極３と、該電極に対向する陽極側電極との間に、前記陽極側電極側から前記陰極側電極側に貫通して、開口状態が調整可能な複数の開口部１００を有する障害物９を、処理基板１１の近傍に該基板の全面を覆うように配設することによって、前記基板の面内中心部のプラズマ密度を低減させて前記基板の中心部と外周部のプラズマ密度の偏りを抑制する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大型平面部材の上面および下面を同時に研磨および／または洗浄を行うことができる自動研磨・洗浄装置に関するものである。
【解決手段】本発明の大型平面部材研磨・洗浄装置は、複数組のブラシ組立体により、前記大型平面部材の移動中に、上面および下面を同時に研磨および／または洗浄することができる。前記複数のブラシ組立体は、大型平面部材の研磨および／または洗浄に合った、異なる種類のブラシ毛および構造の異なるブラシから構成されている。また、前記大型平面部材研磨・洗浄装置は、前記異なる複数組みのブラシに対する駆動速度をそれぞれ別々に制御することができる。本発明の大型平面部材研磨・洗浄装置は、大型平面部材に合った素材から構成されている複数組のブラシ組立により、上下同時に研磨および／または洗浄を行うことができるようになっているため、前記大型平面部材を一方向に流すのみで、上下両面の研磨および／または洗浄を終了させることができる。 （もっと読む）

【課題】耐薬品性、耐油性に優れると共に、長期間に亘りロールが変形しないロールモジュール、及びそのロールモジュールを装着したロールを、安価にて提供する。
【解決手段】鋼板、非鉄金属板、樹脂板、あるいはフィルム状の被洗浄面に付着した水分、油分、あるいは薬品成分等の液体を除去、搾取、洗浄する為のロール１の台座５に装着されるロールモジュール３において、前記ロールモジュール３は、積層された複数のロール片４が接合されてあり、前記ロール片４は少なくとも２種類以上の融点の異なる繊維１８ａ、１８ｂを有する不織布２１にて形成されてあるものである。 （もっと読む）

【課題】シートガラスの表面の洗浄むらが発生し難く洗浄度を向上することができるシートガラスの製造方法を提供する。
【解決手段】シートガラスの搬送中に、一方向に並んだ複数の洗浄ブラシを回転させることにより、前記シートガラスの少なくとも一方のガラス面を洗浄する。前記洗浄ブラシのそれぞれは、回転中心軸から放射状に延び、前記シートガラスに対して摺動する複数の羽根ブラシ部を備える。前記複数の洗浄ブラシのそれぞれと隣接する洗浄ブラシとの間の回転中心軸間距離は、前記回転中心軸から前記羽根ブラシ部の先端までの長さと、前記隣接する洗浄ブラシの回転中心軸から羽根ブラシ部の先端までの長さとの合計より短い。前記複数の洗浄ブラシのそれぞれの前記羽根ブラシ部のそれぞれは、前記隣接する洗浄ブラシの羽根ブラシ部と、この羽根ブラシ部に周上で隣り合う羽根ブラシ部との間に位置するように、前記複数の洗浄ブラシは同期して回転する。 （もっと読む）

【課題】軽量で飛翔しやすい洗浄媒体である薄片を気流により流動させて洗浄対象物に付着した汚れを分離する技術を用いて、洗浄効率を上げることができ、洗浄対象物を部分的に洗浄することにも用いることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄槽内の負圧を周期的に変動させるようにして、洗浄媒体の洗浄媒体分離手段への吸着力を周期的に変化させ、洗浄媒体の洗浄媒体分離手段への吸着力が弱まるようにして洗浄媒体の移動の自由度が上がるようにした。 （もっと読む）

【目的】放電電極部を処理ガスから保護し、酸化を防止して、寿命を長くする。
【解決手段】電極２２〜２５を電極カバー２２Ｐ〜２５Ｐで覆い、放電開口２２ＨＬ，ＨＲ〜２５ＨＬ，ＨＲ（２２ＨＬ、２５ＨＲは閉塞されている）を設ける。また、放電開口２２ＨＬ，ＨＲ〜２５ＨＬ，ＨＲの上流側で、９０°位相がずれた位置に保護ガス流入口２２Ｑ〜２５Ｑを設ける。保護ガス流入口２２Ｑ〜２５Ｑから流入させられた保護ガスは、放電電極部２２Ｓ〜２５Ｓの周辺を流れて放電空間に流出させられる。放電電極部２２Ｓ〜２５Ｓに保護ガスが供給されるため、放電電極部２２Ｓ〜２５Ｓが処理ガスに接触し難くすることができる。そのため、放電電極部２２Ｓ〜２５Ｓの酸化を抑制し、寿命を長くすることができる。 （もっと読む）