株式会社アルバックにより出願された特許
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薄膜製造方法及び薄膜製造装置
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リフロー法及び半導体装置の製造方法
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ターゲットアッセンブリ及びスパッタリングターゲット
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酸化皮膜の形成方法及び酸化皮膜
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Cu層形成方法及び半導体装置の製造方法
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結晶太陽電池の製造方法及び結晶太陽電池
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ミストトラップ装置
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光路形成装置並びにこれを備えた撮像装置、変位測定装置及び検出装置
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多孔質シリカ前駆体塗布液の作製方法
【課題】基材表面に塗布して焼成したときに耐薬液性に優れた多孔質シリカ膜を得ることが可能な前駆体塗布液を提供する。
【解決手段】多孔質シリカ膜の形成に用いられる前駆体塗布液の作製方法であって、官能基を有するアルコキシシランを界面活性剤と共に溶媒に溶解させ、この溶解させたアルコキシシランを触媒存在下で加水分解及び脱水縮合して第1のゾルを得る第1工程と、第1のゾルにテトラアルコキシシランもしくはその重合体を添加し、第1のゾルに含まれる脱水縮合物とテトラアルコキシシランもしくはその重合体を加水分解及び脱水縮合して第2のゾルを得る第2工程とを含む。
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荷電粒子引出照射機構
【課題】照射されるイオンに金属不純物の混入することのない荷電粒子引出照射機構を提供する。
【解決手段】誘導結合プラズマ型のプラズマ発生手段により、プラズマ生成室200内に誘導結合プラズマを励起し、被処理体120にイオンでプラズマ処理を施す荷電粒子引出照射機構1であって、誘導結合プラズマから被処理体に向けて、誘導結合プラズマを引出し制御する複数の多孔電極10、20、30、40が、相互に離隔して平行に配置されており、かつ、全ての多孔電極がカーボン材料で構成されている。
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