プラズマ装置、誘導性加熱装置またはレーザ励起装置をパルス電力出力モードで駆動する方法であって、第１の電力Ｐ_{ＯＵＴ１，１}を第１の電力出力時間ΔＴ_１で形成し、プラズマプロセス、誘導性加熱プロセスまたはレーザ励起プロセスの電力供給のために電力発生器の電力出力端に送出し、パルス休止時間ΔＴ_２では、プラズマプロセス、誘導性加熱プロセスまたはレーザ励起プロセスの点弧または運転のために適切な電力Ｐ_{ＯＵＴ２，１}が、前記電力発生器の少なくとも１つの半導体スイッチ素子（９）を制御することにより前記電力発生器の電力出力端に送出されず、前記電力出力時間ΔＴ_１中に前記第１の電力Ｐ_{ＯＵＴ１，１}の形成と同時に少なくとも１つの半導体スイッチ素子（９）で第１の損失電力Ｐ_Ｖ１を形成し、前記パルス休止時間ΔＴ_２中に少なくとも１つの半導体スイッチ素子（９）で第２の損失電力Ｐ_Ｖ２を形成し、形成された損失電力Ｐ_Ｖ１，Ｐ_Ｖ２を熱に変換し、前記半導体スイッチ素子（９）の温度が所定の値以上に低下するのを、前記半導体スイッチ素子の適切な制御によって阻止し、電力出力モードとパルス休止モードとが常時交番する方法。
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【課題】負荷が変化してもスイッチング損失の少ないフルブリッジ回路が実現できるような、フルブリッジ回路の駆動方法を提供する。
【解決手段】スイッチング素子（Ｚ１−Ｚ４）の制御周波数は、スイッチング素子（Ｚ１−Ｚ４）のスイッチング損失を低減するために、フルブリッジ回路の出力電圧（Ｕｖ）と出力共振回路（１０）の電流（Ｉ）との間の位相Θ、およびフルブリッジ回路の出力電圧（Ｕｖ）と負荷に印加される出力共振回路電圧（Ｕｓ）との間の位相φに依存して調整される。 （もっと読む）

【課題】フルブリッジ１００のスイッチングエレメント１乃至４が周期Ｔ１，Ｔ２において該スイッチングエレメントのスイッチオンおよびスイッチオフの順序を決定するスイッチングシーケンスにおいて作動され、該スイッチングエレメントが少なくとも２つの異なっているスイッチングシーケンスにおいてスイッチングされる、交流出力信号を生成するフルブリッジのドライブ制御方法において、ハーフブリッジの熱負荷が低減されるようにする。
【解決手段】第２のスイッチングシーケンスが実施される前に第１のスイッチングシーケンスをｎ回繰り返し、スイッチングエレメントを少なくとも３つの異なっているスイッチングシーケンスにおいてスイッチングする。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも２つのスイッチング素子（１〜４）を有する少なくとも１つのスイッチングブリッジ（１００，１０１）を備えたプラズマ給電装置を作動させる方法に関する。プラズマ給電装置は、＞５００Ｗの電力および＞３ＭＨｚの実質的に一定の基本周波数を有する高周波出力信号を供給する。本方法は、少なくとも１つの動作パラメータ、少なくとも１つのスイッチング素子の少なくとも１つの周囲パラメータおよび／またはスイッチングブリッジパラメータを求めるステップと、少なくとも１つの動作パラメータ、少なくとも１つの周囲パラメータおよび／またはスイッチングブリッジパラメータを考慮して、スイッチング素子（１〜４）に対する別個の駆動制御信号を求めるステップと、それぞれ１つの駆動制御信号を用いて、スイッチング素子（１〜４）を別個に駆動制御するステップとを有する。
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本発明は、高周波電流供給装置、とりわけプラズマ給電装置に関するものであり、この装置は５００Ｗ以上の出力電力を３ＭＨｚ以上の出力周波数で形成し、ＤＣ電流供給部（２０，２１）に接続された少なくとも１つのインバータ（３）と少なくとも１つの出力電源網を備える。前記インバータは少なくとも１つのスイッチング素子（１１，１２，１３，１４）を有する。プラズマ電流供給に対する要求を満たし、損基準電位が急速な電位変化に曝されるスイッチング素子の確実な制御を保証する高周波電流供給装置において、付随線路（３５，３６）が電気構成部材（７，９，５７）を、電圧電位が時間的に変化しない出力電源網（１５）の給電点（３０）を介してインバータ（３）と接続する。
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３ＭＨｚを上回る実質的に一定の基本周波数で５００Ｗを上回る出力を生成してプラズマ処理の出力供給を行うためのプラズマ給電装置（１０，１０′）であって、前記プラズマ処理に、生成された該出力を供給し、該プラズマ処理から反射された出力が少なくとも誤整合で該プラズマ給電装置（１０，１０′）に戻され、直流電流供給部（１３，１４，１３′，１４′）に接続された少なくとも１つのインバータ（１１，１２，１１′，12′）と、少なくとも１つの出力網（１５，１５′）が設けられており、前記少なくとも１つのインバータ（１１，１２，１１′，１２′）は少なくとも１つのスイッチングエレメント（１１．１，１１．２，１２．１，１２．２）を有するプラズマ給電装置（１０，１０′）において、前記少なくとも１つの出力網（１５，１５′）はプリント配線基板（３８）上に配置されていることを特徴とする、プラズマ給電装置。このような構成により、出力網（１５，１５′）を有利かつ精確に構成することができる。
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【課題】プラズマプロセスへのアーク放電のネガティブな作用及びプラズマプロセスの実施に使用される装置を最小限にまで低減し、この際に処理レートをできるだけ高く保持することである。
【解決手段】上記課題は、プラズマプロセスの動作の際のアーク放電の抑制のための方法において、対抗措置の時間経過は選択的に次のパラメータのうちの少なくとも１つに依存して決定される、すなわち、少なくとも１つの以前の対抗措置に対する時間間隔；当該開始時点以来の又は当該開始時点の前の可変的な時間以来の少なくとも１つの特性量の経過；以前の対抗措置が少なくとも１つの特性量の経過に基づいてトリガされたか又は少なくとも１つの以前の対抗措置に対する時間間隔に基づいてトリガされたかの区別に依存して決定されることによって解決される。 （もっと読む）

【課題】高周波に適する増幅装置を提供することである。
【解決手段】高周波Ｄ級増幅装置（１０）であって、該増幅装置は出力電力が１ｋＷ以上であり、１００Ｖ以上の供給電圧で動作し、直列に接続された２つのスイッチング素子（１１，１２）、とりわけＭＯＳＦＥにより形成されたハーフブリッジを有し、該ハーフブリッジは２つの給電端子（１８，１９）と、前記スイッチング素子（１，１２）間に接続された出力端子（２４）を備え、前記スイッチング素子（１１，１２）の直列回路に対して並列にバイパスコンデンサ（２０）が設けられている形式の増幅装置において、前記スイッチング素子（１１，１２）と前記バイパスコンデンサ（２０）を通る電流経路は、１０ｃｍ以下の長さを有する、ことを特徴とする増幅装置。 （もっと読む）

【課題】処理率が過大に低下することなく処理品質に対する高い要求も考慮される、アーク放電を識別する方法、アーク放電識別装置およびプラズマ給電部を提供する。
【解決手段】プラズマにおいて発生したアーク放電を識別するためにプラズマプロセスの特性量ＫＧを監視し、アーク放電の識別後に第１の時間ｔ１待機し、続いて特性量ＫＧを再度検査する、プラズマプロセスにおけるアーク放電を識別する方法であって、第１の時間ｔ１の経過後にアーク放電が識別されない場合には、アーク放電を抑制する第１の対抗措置を実施する。 （もっと読む）

本発明はプラズマプロセスにおけるアーク放電を識別する方法に関する。少なくとも１つの第１の特性量を所定の第１の閾値と比較し、第１の閾値に到達した際には潜在的なアーク放電を識別し、アーク放電を抑制する第１の対抗措置を講じることによってプラズマプロセスの少なくとも１つの第１の特性量を監視することによりアーク放電識別を実施する。特性量を、第１の閾値とは異なる所定の第２の閾値と比較し、第２の閾値に到達するとアーク放電を抑制する第２の対抗措置を講じ、第２の対抗措置を講じた後は、遮断時間の間に第２の対抗措置が再び講じられることを阻止する。
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