磁気ベアリング装置（１）用のロータ軸（２００）が開示されている。その軸は、スペーサ（２５０、２７０）により隔てられた複数のターゲット（２４０、２６０、２８０）の取付けられている内部部分からなる。これは、ラジアル方向の押し付け力よりもむしろ軸心方向の押し付け力（Ｆ、Ｆ’）を周辺にあたえることで達成される。この方法では、単純化した構成、高い剛性および高回転速度にて高い安定性が達成される。さらに、直径が周辺部に向かい減少するスラストディスク（２２０）を有するロータが開示されている。このことは、一定回転速度に対して、より大きなスラストディスクの使用を可能にする。
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改良された真空気密のハウジング（１０）を通る電気的貫通接続部を有する磁気ベアリング装置が開示されている。貫通接続部３０は、好適には、常にハウジングの内周に沿って、ハウジング（１０）の壁を通り伸びている硬質性または屈曲性のプリント回路基板のような結合要素（３１）からなる。結合要素は気密的な方法でハウジングに対しシールされている。この要素は、好適には、ロータ軸を受け入れる中心部の開口（３６）を有する。ベアリングユニットおよびセンサへの結合は、平坦なリボン・ケーブルまたはフレックスプリントにより達成される。センサは好適には、プリントセンサとして実装される。かくて、非常にコンパクトでコスト効率のよい磁気ベアリング装置が得られる。代替的実施例では、ベアリング要素への貫通接続部としてハウジングの側壁に結合要素を用いる。
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複数の誘導素子（１、４、７）を有し、電気的導体（２、２２）の多方向における距離（１０、２０）を無接触で測定する装置。複数の誘導素子（１、４、７）のうち、少なくとも一つは本質的に電気的導体（２）の周りに配置されている。他の誘導素子、あるいは他の磁場センサー（４、７）は当該誘導素子（１）の近傍に配置されている。このような特徴を有する装置は、多軸誘導センサーを単一の回路基板上に集積することを可能とする。
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回転子が浮遊し、シャフトの周りを回転する磁気軸受装置を制御する方法および制御装置を開示する。センサー信号が変換され、所定方向（ｘ、ｙ）へのシャフトの傾斜移動に対応する傾斜移動信号（Ｓθｘ、Ｓθｙ）を生成するようにする。傾斜移動信号（Ｓθｘ、Ｓθｙ）から傾斜制御信号（Ａθｘ、Ａθｙ）が得られ、これらが変換されてアクチュエータ制御信号を生成し、電磁アクチュエータを磁気軸受装置内で駆動させる。本発明によれば、傾斜ベクトルが第一規定回転方向に装置軸（ｚ）の周りを回転する傾斜移動が、傾斜方向ベクトルが第一規定回転方向と反対の第二回転方向に装置軸（ｚ）の周りを回転する傾斜移動から独立して制御される。このようにして、章動および歳差制御が翼振動またはシャフト湾曲モードの干渉を受けることなく達成される。 （もっと読む）

磁気軸受装置および係る装置の操作方法を提供する。該装置は電磁アクチュエータ（４１１、４１２、４１３、４１４）のグループ（４１０）からなる。各アクチュエータは増幅ユニット（７０１）に電気的に接続される。第一のサブグループのアクチュエータは第一の共通ノード（６０８）に接続され、第二のサブグループのアクチュエータは第二の共通ノード（６０９）に接続される。該共通ノード（６０８、６０９）は直接または追加アクチュエータのような手段により接続される。該共通ノード（６０８、６０９）は増幅ユニットとの追加電気接続を行わないのが好ましい。本発明の特別実施形態によれば、アクチュエータの各サブグループは１つの単一アクチュエータのみからなり、共通ノードは増幅器との電気接続が行われる。このように、該装置は直列構成でＨ−ブリッジに接続された２つのアクチュエータからなる。共通ノードは２種類の電圧のどちらに接続してもよい。本発明により、ワイヤーの負荷要求を増やすことなく簡易配線が可能となる。 （もっと読む）

回転軸（１０１）の周りを回転するシャフト（２０）を回転自在に支持するための電磁ベアリング装置（１）を開示する。装置（１）は、第一作動ラジアルベアリング（５）、一つまたは複数の第一ラジアル変位センサ（８１）、および軸方向ベアリング（６，７）からなる。軸方向ベアリング（６，７）の少なくとも一部分は、回転軸（１０１）の正射影で見たときに、第一作動ラジアルベアリング（５）と第一ラジアル変位センサ（８１）との間に配置される。また、前記電磁ベアリング装置（１）と複合センサユニット（８）からなる真空ポンプを開示する。
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