短Ｘ線パルスを発生するＸ線装置であって、熱陰極（１２）および陽極（１６）を有するＸ線管（１０）と、Ｘ線パルスを発生するために陽極（１６）に印加される高圧パルスを発生する第１の回路（２２，２０，１８）とを備えたＸ線発生器である。Ｘ線発生器は、Ｘ線放射（３０）の発生には不十分な程度の、Ｘ線管（１０）を余熱する低電圧を陽極（１６）に永続的に印加する第２の回路（２６）を含む。第１の回路は、高圧スイッチ（１８）を介して陽極（１６）に印加され得る高圧コンデンサ（２０）を充電させる高圧電源装置（２２）を有する。第２の回路はマルクス発生器で、永続的に低電圧を発生するとともに、高電圧を発生するマルクス発生器を駆動する電源が１つだけ存在する。このＸ線発生装置は、Ｘ線（３０）によって物体の像を生成する撮像装置（４４，４６）を有する物体検査装置の一部を構成する。
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