本発明は、フッ素を発生し、そして再循環するための装置および方法に関する。本出願人は、フッ素分離器が、単独でまたはプラズマ発生器との組み合わせのいずれかで使用され、フッ素の使用地点で薄膜加工のために十分な量のフッ素を生成し得ることを確認した。上記フッ素分離器は、凝縮器、膜分離デバイス、固体電解質を含むフッ素イオン伝導体、または上記のものの組み合わせの形態を取り得る。いくつかの実施形態においては、フッ素含有反応生成物は、フッ素分離器に通される。他の実施形態においては、分離されたフッ素は、単独でまたはさらなるフッ素含有供給原料と一緒に、プラズマ発生器に通される。上記フッ素分離器は、フッ素が再循環され、廃棄生成物が上記系から除去されることを可能にする。
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