【課題】シリンジへのシリコン塗布の検査のような被検査物の表面状態の違いを検査することができる検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物１０に所定形状の像１０ａが結像するように照明する照明手段１２と、所定形状の像１０ａが結像された被検査物１０を撮像する撮像手段１４とが設けられている。撮像手段１４により撮像された撮像画像に２次元ＦＦＴ処理を行い、２次元ＦＦＴ処理されたデータのスペクトル分散の程度に基づいて被検査物１０の表面状態を検出する。 （もっと読む）