【課題】顆粒状の材料の品質を測定する方法および装置において、高測定精度と測定の反復性とを可能にするように改善する。
【解決手段】材料を製造または処理するために材料を受容するプロセスチャンバーと、
プロセスチャンバー内に配置され、検査対象である材料の一部を材料サンプルとして受容するサンプルチャンバーと、窓を通じてサンプルチャンバーに対し指向している光センサとを備えたか粒状材料品質測定装置において、サンプルチャンバー（３）と窓（８）とが相対運動可能であり、サンプルチャンバー（３）内にある材料サンプルを前記相対運動により圧縮可能で且つ窓（８）に対し接触可能であることを特徴とする。
（もっと読む）