ピストン真空ポンプがシリンダ（１４）とピストン（１２）とを有しており、該ピストン（１２）がシリンダ（１４）と共に圧縮室（２８）を形成している。ピストン（１２）はシリンダ（１４）内で圧縮行程と吸込行程とによって往復運動するようになっている。シリンダ（１４）のシリンダ側壁（１６）にはガス吸気部（３０）が設けられており、この場合、該ガス吸気部（３０）は吸込行程の開始時ではピストン（１２）によって閉鎖されていて、吸込行程の終了時では開いている。さらに、補償流路と弁とが設けられており、吸込行程の開始時にガスが前記補償流路と前記弁とを通ってガス吸気部（３０）から圧縮室（２８）に流入するようになっている。課題は、弁を備えた補償流路の簡単な装置を設けることにあった。本発明によれば、主としてピストンが前記補償流路と前記弁とを形成している。これにより、弁はピストン端面壁の範囲で作用し得るようになるので、デッドボリュームは最小限に抑えられる。
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１５ケルビン未満の低温領域用の蓄熱剤としては、一般に希土類化合物から成る粒体が使用される。希土類元素の材料費は高価である。更に、希土類元素は磁性であり、従って、あらゆる用途に適してはいない。極低温領域用の本発明による蓄熱剤は、ばら供給可能で気密に閉じられた中空体（３０）の一群（２２）から成っており、各中空体（３０）が、蓄え媒体として低温で沸騰するガスから成る充填物（３４）を有しており、中空体壁（３２）が金属から成っている。これにより、物理的、化学的、磁気的及び機械的な特性が適当な材料選択によってその時々の用途に適合され得る、比較的廉価な蓄熱剤が供与される。
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本発明は、サーチガス漏れ検出器（１）であって、被検体、スニッファまたは漏れ検査室のための接続部（２７）と、高真空ポンプ（２）と、該高真空ポンプ（２）の吸込み側に接続されたサーチガスディテクタ（５）と、当該サーチガス漏れ検出器（１）の前記接続部（２７）に続いたサーチガス管路（２８）とが設けられており、該サーチガス管路（２８）が、複数の管路区分（３１，３２，３５）と複数の弁（３３，３４，３６）とを介して高真空ポンプ（２）の少なくとも１つの中間段と、高真空ポンプ（２）の前真空範囲とに接続されている形式のものに関する。構造を単純化し、かつ適合の際にかかる組付け手間を低減するために、当該サーチガス漏れ検出器（１）の構成要素としてハウジング（９）が設けられており、該ハウジング（９）内に前記管路および弁の少なくとも一部ならびに高真空ポンプ（２）が組み込まれており、該高真空ポンプ（２）の構成要素として、取外し可能なプラグインユニット（５１）が設けられており、該プラグインユニット（５１）が、複数の貫通孔（５８，６１）を備えた外側の外套構造体（５３）を有しており、さらに前記プラグインユニット（５１）が、当該サーチガス漏れ検出器（１）のすぐに運転できる状態で、ハウジング（９）に設けられた収容開口（５２）内に位置していることが提案される。
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ピストンコンプレッサは、シリンダ（１４）内を往復運動するピストン（１２）を有している。圧縮ガス供給装置が設けられており、圧縮ガス供給装置は、圧縮ガス蓄え器（３４）と、圧縮ガス源（２０）と圧縮ガス蓄え器（３４）との間に設けられた圧縮ガス供給管路（１８）とを有している。さらに、圧縮ガス供給管路（１８）の経路中にインレット弁（４２）が設けられており、インレット弁（４２）はピストン（１２）の充填位置で開放されている。インレット弁（４２）はシリンダ壁開口（２２）とピストン壁開口（３８）とにより形成される。シリンダ壁開口（２２）とピストン壁開口（３８）とは、ピストン（１２）の充填位置で互いに対向して位置していて、開放された弁を形成し、かつピストン（１２）の非充填位置でピストン壁（４０）もしくはシリンダ壁（２４）により閉鎖されていて、閉鎖された弁を形成する。これにより、可動な部分を有しておらず、それゆえ、簡単に製作可能であり、かつ高い信頼性と長い寿命とを有している弁が提供される。
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真空容積式ポンプの駆動モータを制御するための方法は、以下の方法ステップ：入口圧値ｐに対して駆動モータのそれぞれ１つの回転数ｎを示す曲線（３２）を記憶し、この場合、該曲線（３２）が、ただ１つのコンスタントな上側の回転数値ｎ_１が割り当てられた上側の限界圧ｐ_１よりも大きいかまたは上側の限界圧ｐ_１に等しい入口圧値ｐに対する上側の範囲（３４）と、上側の限界圧ｐ_１よりも小さい入口圧値ｐに対する変化範囲（３６）とを有しており、この場合、該変化範囲で入口圧値ｐにそれぞれ異なる回転数値ｎ_ｖが割り当てられており、入口圧値ｐを検出し、該入口圧値ｐに曲線（３２）で割り当てられた回転数ｎを検出し、駆動モータを、検出された回転数ｎで運転する：を有している。変化範囲を設けることによって、真空ポンプを常に、容積式ポンプの効果的な吸込み能が最大となる回転数で運転することができる。
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少なくとも１つのターボ圧縮機段（１１）を有する多段式の摩擦真空ポンプは、ターボ圧縮機段の吐出し側にサーキュラ圧縮機段（３３）を備えている。このサーキュラ圧縮機段（３３）は僅かな軸方向の寸法を有している。このサーキュラ圧縮機段（３３）によって、スペース要求が著しく高められる恐れなしに、圧縮が増大させられる。
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本発明は真空装置に関し、該真空装置は複数のクライオポンプ（１０）、殊に互いに並列的に接続され複数のクライオポンプを備えている。さらに少なくとも１つの圧縮装置（１６）を設けてあり、該圧縮装置は媒体供給管路（１２）を冷却装置（１０）に接続している。媒体戻り管路（１４）は、同じく圧縮装置（１６）及びクライオポンプ（１０）に接続されている。媒体供給管路（１２）と媒体戻り管路（１４）との間に、媒体のための貯蔵容器（２０）を配置してある。さらに媒体供給管路内に圧力測定装置（３０）を設けてある。圧力測定装置は制御装置（３２）を介して供給弁（２６）に接続されている。クライオポンプ（１０）に生じている圧力差をできるだけ一定に保つために、媒体供給管路（１２）内の圧力が所定の閾値を超えた場合に、供給弁（２６）は開かれるようになっており、その結果、媒体は貯蔵容器（２０）内に流れ込む。
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真空装置が、単数または複数の真空室と接続された複数のクライオポンプ（１０）を備えている。クライオポンプ（１０）は、媒体−供給路（１２）および媒体−還流路（１４）を介して圧縮装置（１６）と接続されている。少なくとも１つのクライオポンプに、クライオポンプに供給される媒体量を制御するための調節装置（１８）が前置されている。さらにクライオポンプ（１０）は温度測定装置を備えている。温度測定装置ならびに調節装置（１８）は制御装置（２８）と接続されている。クライオポンプ（１０）に向かう所望の媒体供給を実現するために、本発明によれば、調節装置（１８）は、媒体−供給路（１２）に絞り装置（２４）を備えていて、かつ絞り−バイパス管路（２２）に制御可能な弁を備えている。
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