サンプル（２１）の温度を測定する方法であって、プロービング光ビーム（１２，２２，３２）をサンプルに当て、プロービング光ビームの少なくとも２つの部分ビームが、サンプル中の少なくとも２つの互いに異なる深さレベルから後方散乱し又は反射することによりサンプル内部の互いに異なる長さの経路を通り、後方散乱又は反射した部分ビームを分析ユニットに戻し、基準光ビームとして一方のビームを用いる干渉デバイスにより干渉モデルを作成し、作成した干渉モデルを評価ユニットで評価し、反射又は後方散乱した部分ビームの信号強度を光路長に対して求めてサンプルの温度シフト及び温度を信号強度の温度シフトから求めることを特徴とする。
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